单晶蓝宝石基片集群磁流变抛光实验研究的任务书.docx

单晶蓝宝石基片集群磁流变抛光实验研究的任务书
一、研究背景及意义
单晶蓝宝石基片在半导体、光电、航空航天等领域具有重要的应用价值。而蓝宝石基片的表面质量和平整度对元器件的性能和稳定性有着至关重要的影响。传统的机械抛光和化学机械抛光方法在蓝宝石基片的表面质量和平整度上存在着一些局限性，如无法满足高精度和高效率的制备需求。
磁流变抛光作为一种新型的高效、高精度的抛光方法，近年来受到了广泛的关注。磁流变液体具有磁致变形特性，使用磁场控制磁粉流动方向和位置，实现针对性地改善基片表面形貌的效果。该技术在航空航天、医疗健康、电子信息等领域中具有很大的发展前景。
本研究旨在探究单晶蓝宝石基片集群磁流变抛光技术的可行性和优化方法，为提高蓝宝石基片表面质量和平整度提供有效手段，推动其在各个领域的应用。
二、研究内容和方法
1.研究内容
（1）搭建单晶蓝宝石基片的磁流变抛光实验平台，对比分析磁流变抛光与传统抛光方法的表面质量和平整度。
（2）探究单晶蓝宝石基片集群磁流变抛光技术的可行性，研究不同磁场强度、转速等参数对于抛光效果的影响。
（3）优化单晶蓝宝石基片集群磁流变抛光技术，并验证其可行性。
2.研究方法
（1）构建单晶蓝宝石基片磁流变抛光实验平台，采用单因素实验设计方法，对照实验组与空白组进行对比分析。
（2）在探究单晶蓝宝石基片集群磁流变抛光技术可行性时，采用正交试验设计方法，分析不同磁场强度、转速等参数对抛光效果的影响。
（3）在优化单晶蓝宝石基片集群磁流变抛光技术时，采用响应面试验设计法，精确确定磁场强度、转速、添加剂浓度等参数，优化抛光效果。
三、预期研究成果
1.确定单晶蓝宝石基片集群磁流变抛光技术的可行性，对比分析磁流变抛光与传统抛光方法的表面质量和平整度。
2.探究磁场强度、转速等参数对于单晶蓝宝石基片集群磁流变抛光技术的影响，精确确定优化参数。
3.优化单晶蓝宝石基片集群磁流变抛光技术，并验证其可行性，提高蓝宝石基片表面质量和平整度，为其在各个领域的应用提供有力保障。
四、研究计划及进度安排
1.第一年：搭建单晶蓝宝石基片磁流变抛光实验平台，分析磁流变抛光与传统抛光方法的差异，初步探究集群磁流变抛光技术可行性。
2.第二年：在磁场强度、转速等参数上进行正交试验设计，分析各因素与抛光效果的相关性。
3.第三年：确定优化参数，进行响应面试验设计，优化集群磁流变抛光技术，并进行验证。
4.第四年：整理研究成果，撰写论文，组织有关专家开展现场验收。
五、研究经费及其分配
本研究总经费为200万元，其中：
1.实验设备及其维修保养费：70万元；
2.研究人员工资及培训费用：60万元；
3.材料采购及实验用品费用：50万元；
4.论文撰写及验收费用：20万元。
以上经费按研究进度分两期拨付，第一期拨付100万元，第二期拨付100万元。