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涂层导体用Ni5W合金基带立方织构形成及影响的研究的开题报告 一、研究背景 随着电子技术不断发展和普及,涂层导体在电子元器件行业中得到了广泛应用。研究表明,Ni5W合金具有良好的导电性和抗氧化性能,因此被广泛地应用于电子元件和电路连接结构的制造中。在涂层导体的制造过程中,立方织构的形成会对其导电性能和机械强度产生一定的影响。因此,如何通过调控制备工艺来实现Ni5W合金基带立方织构的形成,成为了目前研究的热点问题之一。 二、研究目的 本研究旨在通过制备工艺的优化,实现Ni5W合金基带立方织构的形成,并研究立方织构对该材料导电性能和机械强度的影响。 三、研究内容 (1)Ni5W合金基带制备 在本研究中,将采用真空热蒸发的方法制备Ni5W合金基带。该方法具有降低制备成本、不易污染等优点,同时可以调节蒸发速率、沉积时间等工艺参数,从而实现合金基带的制备。 (2)制备工艺优化 根据文献资料和实验结果,本研究将针对制备工艺中的关键参数进行优化。主要包括蒸发速率、沉积时间、退火温度和时长等。通过优化制备工艺,实现Ni5W合金基带的立方织构形成。 (3)结构表征 通过X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)等手段对制备的样品进行结构表征。分析样品的晶体结构、表面形貌,确定材料的立方织构形成情况,探究影响立方织构的制备工艺参数。 (4)性能测试 对形成立方织构的Ni5W合金基带进行电学性能和机械性能测试。主要包括电导率、抗拉强度等测试所需的手段和方法。分析Ni5W合金基带立方织构对其性能的影响。 四、研究意义及预期成果 本研究旨在实现Ni5W合金基带立方织构的形成,并探究其对性能的影响,具有一定的理论意义和应用价值。预期成果包括: (1)实现Ni5W合金基带立方织构的形成; (2)研究立方织构对Ni5W合金基带电学性能和机械性能的影响; (3)优化涂层导体制备工艺,提高电子元件的性能和稳定性。 五、拟定实验计划 第一年:完成Ni5W合金基带制备和结构表征实验,研究制备工艺对立方织构形成的影响,并初步探究其对电学性能的影响。 第二年:进行Ni5W合金基带立方织构的电学性能和机械性能测试,并对数据进行分析和归纳。 第三年:优化Ni5W合金基带立方织构制备工艺,并将其应用于涂层导体的制备中,对其电学性能和机械性能进行测试。 六、参考文献 [1]XieY,ZhouJS,XuJ,etal.Compositionally-graded[Ni,W]alloythinfilmswithdiversemicrostructuresforhigh-performanceMEMS[J].JournalofAlloysandCompounds,2019,787:14-23. [2]ZhangY,FangQ,XiongD,etal.StructureandmechanicalpropertiesofarcdepositedNi5WalloyfilmsonSisubstrate[J].MaterialsScienceandEngineering:A,2012,555:96-101. [3]徐彤彤,吕福兴,史瑞峰,等.低反射率Ni5W合金膜的制备及性能研究[J].材料导报,2017,31(18):36-40.