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MEMS集成甲醛传感器设计及性能检测研究的中期报告
MEMS集成甲醛传感器设计及性能检测研究是一项关注室内空气质量的重要研究，其目的是开发一种使用MEMS技术制造的低功耗、高精度的甲醛传感器，用于实时监测室内空气中的甲醛浓度。
本中期报告主要介绍了该研究的设计方案、制造流程以及性能评估结果。
设计方案：
本研究采用了基于压阻式传感原理的MEMS甲醛传感器，其中传感器芯片由采用标准CMOS工艺制造的压阻式电流检测器和微机械结构组成，结构采用双层铝电极和氮化硅悬臂梁结构。
制造流程：
根据设计方案，采用标准CMOS工艺制造了传感器芯片，制造流程主要包括图形设计、掩模制作、晶圆制备、光刻、蚀刻和金属沉积等步骤。
性能评估：
在实验室环境下对MEMS甲醛传感器进行了性能评估，测试结果显示传感器具有以下性能：
1.灵敏度高：在甲醛浓度逐渐从0.1ppm到5ppm增加时，传感器的输出电压变化明显，且输出与甲醛浓度呈现线性关系。
2.稳定性好：经过7天的稳定性测试，传感器输出的电压变化在1%以内，具有较好的长期稳定性。
3.选择性高：传感器对其他室内污染物的干扰较小，具有较好的选择性。
综上所述，该研究使用MEMS技术制造的甲醛传感器具有高灵敏度、稳定性好、选择性高等优良的性能特点，具有实际应用价值。但还需要继续优化设计方案和制造工艺，提高传感器的可靠性和精度。