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基于MEMS技术的光读出非制冷红外焦平面阵列设计与制造及成像系统研究的中期报告
根据本文研究的进行，实现了基于MEMS技术的光读出非制冷红外焦平面阵列的设计、制造及成像系统的中期报告。主要包括以下几个方面的内容：
一、研究背景和意义
通过分析MEMS技术在红外焦平面阵列中的应用优势，提出了本文研究的背景和意义。在现有非制冷红外焦平面阵列中，由于传统的金属静电缩合机构无法满足高分辨率、高灵敏度和高速读出等要求，因此需要使用MEMS技术去实现光读出。
二、光读出非制冷红外焦平面阵列设计
根据MEMS技术的优势以及红外焦平面阵列的使用条件，设计出了适用于非制冷红外焦平面阵列的光读出结构。该结构包括微镜头与衬底之间的MEMS振动结构，通过振动实现光读出。
三、焦平面阵列制造
采用MEMS工艺制造非制冷红外焦平面阵列，包括制备微镜头、制备衬底、结合微镜头和衬底等步骤。采用硅基底材料，并利用半导体工艺，在硅基底材料上制备红外敏感材料。
四、成像系统设计与实验
基于MEMS非冷焦平面阵列实现了成像系统的设计和实验。将阵列与成像光学系统相结合，采用光学和电子学手段，对焦平面阵列进行测试和成像实验。成像实验结果表明：所制备的非制冷红外焦平面阵列具有较高的成像质量和较高的灵敏度。
综上所述，本文基于MEMS技术的光读出非制冷红外焦平面阵列设计、制造及成像系统的中期报告已成功实现。