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基于MEMS与AFM的纳米管道系统制作方法研究的中期报告
摘要：
本研究旨在利用微机电系统(MEMS)和原子力显微镜(AFM)的技术手段制作纳米管道系统。在此中期报告中，我们介绍了我们的研究进展和实验结果。具体来说，我们已经完成了以下工作：
1.设计和制作了一个具有高精度的MEMS探针，该探针可用于在AFM下控制器件的位置和移动。
2.制作了一系列微型通道结构，其中包括尺寸为100nm的纳米管道。
3.进行了一系列实验来研究纳米管道的电导率和分子传输特性。
实验结果表明，我们的纳米管道系统具有很好的电导率和分子传输特性，符合我们的设计要求。我们还进一步进行了材料性质的分析和更深入的实验，以优化和改进我们的制造方法。
未来，我们将继续探索这种纳米管道系统的应用，包括分子筛选和生物分析等。我们相信，这种制造方法和设计思想将有助于纳米材料和生物技术的进一步发展。
关键词：微机电系统(MEMS)；原子力显微镜(AFM)；纳米管道；电导率；分子传输特性；制造方法
Abstract:
Theaimofthisstudyistousethetechniquesofmicroelectromechanicalsystems(MEMS)andatomicforcemicroscopy(AFM)tofabricatenanochannelsystems.Inthismid-termreport,weintroduceourresearchprogressandexperimentalresults.Specifically,wehaveaccomplishedthefollowingwork:
1.Designedandfabricatedahigh-precisionMEMSprobewhichcanbeusedtocontrolthepositionandmovementofthedeviceunderAFM.
2.Fabricatedaseriesofmicrochannelstructuresincludingnanochannelswithasizeof100nm.
3.Conductedaseriesofexperimentstoinvestigatetheelectricalconductivityandmoleculartransportpropertiesofthenanochannels.
Theexperimentalresultsshowthatournanochannelsystemhasgoodelectricalconductivityandmoleculartransportproperties,whichmeetourdesignrequirements.Wehavefurtheranalyzedthepropertiesofthematerialsandconductedmorein-depthexperimentstooptimizeandimproveourfabricationmethod.
Inthefuture,wewillcontinuetoexploretheapplicationsofthisnanochannelsystem,includingmolecularsievingandbioanalysis.Webelievethatthisfabricationmethodanddesignideawillcontributetothefurtherdevelopmentofnanomaterialsandbiotechnology.
Keywords:microelectromechanicalsystems(MEMS);atomicforcemicroscopy(AFM);nanochannel;electricalconductivity;moleculartransportproperties;fabricationmethod.