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几种微电子材料的制备、表征与性能研究的中期报告
本中期报告将介绍几种微电子材料的制备、表征和性能研究情况。这些材料包括二氧化钛（TiO2）、氧化锌（ZnO）和铜铟镓硒（CIGS）。
1.二氧化钛（TiO2）
制备：我们采用水热法制备了不同形状的TiO2纳米晶，包括球形、棒状和片状。水热反应在高温高压条件下进行，产物通过离心和烘干得到。
表征：我们使用透射电镜（TEM）、X射线衍射（XRD）和比表面积测量仪对TiO2纳米晶进行了表征。TEM结果表明，球形和棒状TiO2纳米晶具有较小的尺寸和较高的晶格缺陷密度。XRD结果表明，球形、棒状和片状TiO2样品均为纯相，并且结晶度较高。比表面积测量结果表明，球形TiO2样品具有最高的比表面积。
性能研究：我们研究了不同形状TiO2纳米晶在光催化降解亚甲基蓝染料方面的性能。结果表明，球形TiO2样品表现出最佳的光催化活性，其原因是其较高的比表面积和较小的晶格缺陷密度。
2.氧化锌（ZnO）
制备：我们采用溶胶-凝胶法制备了ZnO纳米晶。该方法涉及将金属盐和有机化合物溶解在溶剂中，并在高温下混合形成一种“溶胶”，然后经过适当的热处理形成一个凝胶，最终通过退火制备ZnO纳米晶。
表征：我们使用TEM、XRD、紫外-可见吸收光谱（UV-vis）和场发射扫描电子显微镜（FESEM）对ZnO纳米晶进行了表征。TEM结果表明，样品具有典型的六方晶体结构，且其粒径约为20-30nm。XRD结果表明，ZnO纳米晶为纯相且结晶度良好。UV-vis结果显示，样品在紫外光区域有较强的吸收；FESEM结果显示，样品表面光滑且无杂质。
性能研究：我们研究了样品在气敏性能方面的表现。结果显示，ZnO纳米晶表现出较高的气敏性能，其原因是其结构缺陷和表面吸附能力较强。
3.铜铟镓硒（CIGS）
制备：我们采用分解前体法制备了CIGS薄膜。该方法涉及将金属盐溶解在有机溶剂中，然后通过离心和烘干形成沉淀，最终通过热处理得到CIGS薄膜。
表征：我们使用XRD、FESEM、TEM和光电子能谱（XPS）对CIGS薄膜进行了表征。XRD结果表明，样品为多晶体结构并且晶界缺陷较少。FESEM和TEM结果表明，样品表面光滑且结晶度良好。XPS结果显示，样品表面有In2O3和CuO的存在，可能是由于样品在表面氧化导致的。
性能研究：我们研究了样品在光伏性能方面的表现。结果表明，样品具有较高的光电转换效率和光电性能，其原因是其晶界缺陷较少和结晶度较高。