铁掺杂氧化铟外延薄膜的生长机理与物性研究的中期报告.docx
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铁掺杂氧化铟外延薄膜的生长机理与物性研究的中期报告本研究旨在探究铁掺杂氧化铟(Fe-dopedIn2O3)外延薄膜的生长机理和物性特征。本次报告以研究的中期结果为基础,介绍了以下方面的探索与发现。一、生长机理我们采用分子束外延(MBE)技术在石英衬底上生长Fe-dopedIn2O3外延薄膜,通过X射线衍射和透射电子显微镜等多种表征手段,研究了Fe掺杂对In2O3晶格结构和生长机理的影响。实验结果表明,Fe掺杂使得In2O3晶格参数发生略微的压缩,且Fe的加入改变了In2O3生长面(222)和(440)的生
铁掺杂氧化铟铁磁性半导体薄膜的生长及性能研究.docx
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