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基片集成波导微波毫米波无源器件研究的综述报告 基片集成波导微波毫米波无源器件是一种新型的器件集成技术,具有体积小、集成度高、工艺简单和低成本等优点。本文将对基片集成波导微波毫米波无源器件这一技术的研究进展进行综述,并分析其应用前景。 一、基本概念 基片集成波导微波毫米波无源器件是一种无源器件,包括耦合器、功分器、功率检波器、隔离器、衰减器等。其结构基于基片集成波导的技术,利用基片上的微带线、插件线、反射线等元件构成无源器件。 二、研究进展 基片集成波导微波毫米波无源器件的研究已经进行了多年,并取得了不错的进展。以下是其中一些重要的研究成果: 1.基于刻蚀技术的基片集成波导耦合器 刻蚀技术是一种基片集成波导制备技术,其可用于制备各种类型的基片集成波导无源器件。同时,基于刻蚀技术的基片集成波导耦合器具有宽带、低损耗等特点。 2.基于过程转移技术的基片集成波导功分器 过程转移技术是一种将晶圆上的结构转移到另一种元素上的技术。其可以用于制备基片集成波导功分器。利用该技术,可以快速地制备多路功分器,同时具有优良的性能。 3.基于混合型构建方法的基片集成波导耦合器 混合型构建方法是一种将有固定宽度的微带线上修削出D形缺口或U形缺口,然后将宽度不等的微带阵列拼接起来构建出耦合器的方法。该方法可制备出高效、宽带的基片集成波导耦合器。 三、应用前景 基片集成波导微波毫米波无源器件作为一种新型的器件集成技术,具有广泛的应用前景。例如,在通信、雷达、无线电频率识别、量子计算等方面均有着广泛的应用。同时,由于其体积小、集成度高、工艺简单和低成本等特点,可以减少器件的空间和成本开销,因而在系统设计中更具优势。 综上所述,基片集成波导微波毫米波无源器件的研究进展已经有了长足的进展,未来有着广泛的应用前景。相信,随着该技术的不断成熟,其应用也将更加广泛。