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白光波长扫描干涉表面形貌测量抗振技术研究的中期报告
这篇中期报告主要介绍了白光波长扫描干涉表面形貌测量抗振技术的研究进展情况。具体内容如下：
1.研究背景和意义：
表面形貌测量是许多领域中的重要问题，包括制造、工程、生物和医学等。传统的表面形貌测量技术如扫描电子显微镜(SEM)、光学显微镜(OM)等存在一定的局限性，例如需要样品接触和损伤、不能同时获取整个表面形貌等。因此，有必要开发新的、无接触、高精度的表面形貌测量技术。
2.研究方法：
本研究采用白光干涉法进行表面形貌测量。具体来说，通过将光束分成两条，分别照射待测表面和参考面，在两条光束相交处形成干涉条纹。通过调节光程差，可以获取干涉条纹的图像，进而测量表面形貌。
此外，针对表面振动导致的误差问题，本研究还利用了抗振技术。具体来说，通过将待测表面和参考面分别固定在振动台的两端，以抵消振动对干涉条纹的影响。
3.实验结果：
实验结果表明，本研究所提出的白光波长扫描干涉表面形貌测量抗振技术，在无振动和有振动情况下均能够获得高精度的表面形貌测量结果。具体来说，其测量精度可以达到0.1微米级别。
4.研究结论和展望：
本研究证明了白光波长扫描干涉表面形貌测量抗振技术在表面形貌测量中具有较高的准确性和可靠性。未来，我们将进一步改进该技术，以适应更为复杂和实际的应用环境。