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基于表面等离子体激元的微纳波导的光控研究的中期报告
本研究旨在使用表面等离子体激元（SPP）在微纳尺度下实现光控微纳波导。在该项目的前期研究中，我们已经成功地使用电子束光刻技术制备了具有亚波长尺寸的金属带的SPP波导，并成功地在该波导中实现了光控。本中期报告主要向您介绍我们在该项目的接下来的研究工作。
一、光控波导的制备
1.采用聚焦离子束（FIB）技术制备SPP波导：使用电子束光刻技术制备的SPP波导的制备工艺较为复杂，制备成本较高。因此，我们计划采用聚焦离子束技术制备SPP波导，该技术制备的波导具有更高的精度，制备成本也相对较低。我们已经进行了制备工艺的优化，并制备了一些样品，正在进行光学和电学性能测试。
2.设计和制备光控SPP波导：我们将使用FIB技术将传统SPP波导中的金属带局部方式刻蚀，以形成一个光控的介质区域。这将使SPP波导具有光控性质，使其在应用中更加实用。我们正在进行器件的设计和制备工作，并将在后续的研究中进行测试和最终评估。
二、光学和电学特性测试
我们将使用原子力显微镜（AFM）和纳米光谱仪对SPP波导进行光学表征，以研究其光学特性。我们还将使用电子显微镜（SEM）和电学测试系统测量其电学特性。
三、应用研究
本研究的主要目的是将光控SPP波导应用于光电器件制造和微型传感器制造。我们的目标是制造出具有竞争性能的器件和传感器。我们计划开展以下两个应用方向的研究：
1.基于光控SPP波导的光程调制器：我们将采用光控SPP波导实现高速光程调制，并开发用于光通信和光子计算的新型光器件。
2.基于光控SPP波导的微传感器：我们将利用所制备的微纳光控材料制备微型传感器，用于高灵敏度的生物分子检测、气体分析和环境检测等领域。
结语
通过本中期报告，我们向您介绍了我们在基于SPP的微纳波导光控研究项目中的进展。我们已经克服了一些挑战，完成了一些重要的实验工作，包括采用FIB技术制备SPP波导，设计和制备光控SPP波导等；我们还计划开展一系列实验和应用研究，以探索SPP波导的光控性能并应用于光电器件和微型传感器等领域，并最终实现该技术的商业化应用。