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激光微加工制作的光纤法珀高温温度与折射率传感器研究的综述报告
激光微加工制作的光纤法珀高温温度与折射率传感器研究的综述报告
摘要：
光纤法珀传感器作为一种高精度的传感器，在航空、机械、医疗等领域应用广泛。随着技术的不断发展，激光微加工制作的光纤法珀传感器由于其具有高灵敏度、稳定性好等优点，成为了研究的热点。本文就激光微加工制作的光纤法珀高温温度与折射率传感器的研究进行综述。
1.引言
光纤法珀传感器是一种利用光学干涉原理来测量物理量的高精度传感器，广泛应用于航空、机械、医疗等领域。相比于其他传感器，激光微加工制作的光纤法珀传感器具有结构简单、灵敏度高、稳定性好等优点，十分适合在高温、高压、冷却液中等复杂环境下应用。
2.激光微加工制作的光纤法珀高温温度传感器
2.1制备方法
激光微加工制作的光纤法珀高温温度传感器主要采用激光微加工技术制备，制备过程是在光纤端面表面进行微加工处理，形成了具有高反射率的反射器，然后将反射器与光纤端面粘合成为光纤法珀传感器。
2.2研究进展
随着激光微加工技术的不断改进，光纤法珀传感器的制备过程变得越来越简单、高效。目前，国内外学者已经对激光微加工制作的光纤法珀高温温度传感器进行了广泛的研究。其中，中国科学院合肥物质科学研究院的王建平教授等研究人员提出了利用激光微加工制作微小光栅的方法来制备光纤法珀传感器，实现了对高温温度的测量。另外，美国加州大学伯克利分校的C.J.Sha等研究人员提出了利用激光微加工技术制备石英微球，并将其粘贴在光纤端面上，形成光纤法珀传感器的方法。实验结果表明，该传感器在高温条件下具有高精度、高稳定性的特点。
3.激光微加工制作的光纤法珀折射率传感器
3.1制备方法
激光微加工制作的光纤法珀折射率传感器的制备方法与光纤法珀高温温度传感器类似，也是采用激光微加工技术制备的。
3.2研究进展
目前，国内外学者已经对激光微加工制作的光纤法珀折射率传感器进行了广泛的研究。其中，法国科学院圣日耳曼分部的C.Levallois等研究人员利用激光微加工技术制备了高精度、高灵敏度的光纤法珀折射率传感器，并且实现了对微小温度变化的测量。此外，美国T.H.Her等研究人员将激光微加工技术与纳米技术结合起来，成功制备了微型光纤法珀传感器，该传感器在高温、高压等恶劣环境下表现出良好的性能。
4.结论
利用激光微加工技术制备的光纤法珀传感器具有高精度、高灵敏度、结构简单、稳定性好等优点，能够在复杂的高温、高压、冷却液中等环境下稳定有效地进行测量，具有广泛的应用前景。未来，我们期待着更多学者在光纤法珀传感器制备方面进行深入研究，以提高其实用性及性能，实现对更广泛领域的适用。