刻划装置、刻划方法及保持具单元.pdf
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刻划装置、刻划方法、保持具单元及保持具.pdf
本发明公开了刻划装置、刻划方法、保持具单元及保持具,提供能增长能使用的寿命且同时以利用刻划点形成的刻划线的方式形成高精度的刻划线的刻划装置、刻划方法、保持具单元及保持具。一种刻划装置,具备:刻划轮31;保持具单元30,具有将刻划轮旋转自如地轴支的销32与保持销的保持具40;刻划头,具有安装保持具单元的保持具接头部与使保持具单元升降的升降部;以及载台,载置脆性材料基板,其特征在于,保持具的插入孔43a、43b在上下方向形成为较长,通过保持具单元的升降使刻划轮接触基板后,刻划轮往上方移动,而与形成于保持具的旋
刻划装置、刻划方法及保持具单元.pdf
本发明公开了一种刻划装置、刻划方法及保持具单元,提供能增长能使用的寿命且同时以利用刻划点形成的刻划线的方式形成高精度的刻划线的刻划装置、刻划方法及保持具单元。一种刻划装置1,具备:刻划轮31;保持具单元30,具有将刻划轮旋转自如地轴支的销32与保持销的保持具40;刻划头20,具有安装保持具单元的保持具接头21;以及载台14,载置脆性材料基板15,其特征在于,具备旋转抑制部60,在对刻划轮施加载重后,抑制刻划轮的旋转。
保持具、保持具单元及刻划装置.pdf
本发明提供保持具、保持具单元及刻划装置。鉴于由于刻划轮沿销轴方向移动而导致划线的形成位置偏离的问题点,提供使划线的形成位置稳定、不产生从所希望的位置偏离的保持具、保持具单元及刻划装置。保持具单元(30)包括:刻划轮(40);销轴(50),贯通刻划轮的贯通孔;一对保持部(63a)、(63b),形成于保持具(60)的主体下部(62);以及销孔(66a)、(66b),所述销轴插入穿过所述销孔。保持部(63a)形成有通气孔(70),用于向与刻划轮的侧面(41a)相对的位置排出或吸入空气。
保持具、保持具单元及刻划装置.pdf
本发明是有关于保持具、保持具单元及刻划装置,本发明的保持具单元30,具备有:强磁性体的刻划轮40、贯通于刻划轮的贯通孔41的销轴50、以及保持具60,该保持具60具有一对保持部62a、62b、及位于同轴上且分别形成于保持部并且供销轴插通的销孔65a、65b;在保持部62a,收容有沿销轴的方向吸引刻划轮的磁铁75。本发明是有鉴于因刻划轮在销轴方向移动而使刻划线的形成位置偏离的问题而完成,本发明提供的技术方案能够使刻划线的形成位置稳定,不会产生刻划线从所要的位置偏离。
刻划装置及刻划方法.pdf
本发明提供一种可抑制刻划线相对于预先设定的基准直线的偏离的刻划装置及刻划方法。刻划装置具有:刻划头(10),在其下端安装有用于在基板表面形成刻划线的刻划轮(41);以及移动机构,其使刻划头与为了形成刻划线而设定的基准直线平行地移动。刻划轮(41)被安装在旋转部(12),旋转部(12)以可旋转的方式被支承在刻划头(10)的下部。旋转部(12)的旋转轴(Ra)相对于与基板(F)的表面垂直的方向向刻划头(10)的行进方向前侧倾斜。