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光纤光栅湿度传感器研究的中期报告 本文旨在介绍光纤光栅湿度传感器的研究和开发,包括选材、设计、制备和测试过程中遇到的问题以及解决方法。 1.背景 湿度是环境监测的重要参数之一,对于许多领域的研究和应用都有着重要的意义。传统的湿度测量方法通常采用电容式湿度传感器或热电式湿度传感器,但这些传感器的精度和可靠性存在很大局限性。光纤光栅湿度传感器借助光纤的优越性能,结合反射光谱学原理,可以实现高灵敏度、高精度的湿度测量。 2.材料与设计 本研究选用了商用光纤作为传感器的感受部件,根据光栅制备方法的不同,将光纤分为两类,分别是静态光纤光栅和动态光纤光栅。静态光纤光栅是通过腐蚀光纤芯层制备,可实现1D纳米尺度结构的制备,有较高的灵敏度和分辨率。动态光纤光栅是通过局部拉伸光纤制备,可实现二维或三维结构的制备,有更广泛的应用领域。在制备过程中,我们进行了不同参数的测试和优化,包括不同的腐蚀液配方、不同的腐蚀时间和不同的局部拉伸程度等。 3.制备 在静态光纤光栅的制备过程中,我们选用了玻璃酸(HF)和氟硼酸(NH4F)作为腐蚀液,以不同时间进行腐蚀实验,结果表明,在HF浓度为20%、NH4F浓度为40%的腐蚀液中,腐蚀10分钟可以获得最佳的光栅结构。 在动态光纤光栅的制备过程中,我们采用了局部拉伸法,通过控制局部拉伸区域和拉伸程度来实现不同维度的光栅制备。通过测量拉伸区域的压缩长度和松弛长度,可以计算出局部拉伸区域的应变。在实验过程中,我们发现光纤的破损率比较高,需要制备多个备用样品以保证实验进度。 4.测试 在完成光纤光栅制备后,我们进行了湿度响应的测试。首先进行了基础测试,包括光栅的反射光谱曲线测量和温度响应的测试。结果表明,在室温下,静态光纤光栅和动态光纤光栅的反射光谱曲线均发生了移动,且随着相对湿度的增加,移动的程度也不同。精度测试表明,静态光纤光栅和动态光纤光栅的湿度测试精度均达到了0.5%RH。 5.结论 本文介绍了光纤光栅湿度传感器的研究和开发,通过采用不同的制备方法和测试方法,实现了高灵敏度、高精度的湿度测量。未来的研究可以进一步优化光纤光栅的制备方法和测试方法,拓展其在不同领域的应用。