激光同时测量位移与角度方法的研究的中期报告.docx
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激光同时测量位移与角度方法的研究的中期报告.docx
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基于激光位移传感器的工件角度测量系统的研究.docx
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本发明公开了一种可同时实现三维位移测量的激光测量装置和方法,包括激光器、光隔离器、小孔光阑、偏振片、偏振分光棱镜(PBS)、四分之一波片、平凸透镜、直角棱镜、平面反射镜、消偏振分光棱镜(NPBS)、半波片、光电二极管、四象限探测器。本发明是基于迈克尔逊干涉测量原理和激光自准直原理,利用同一激光器和光路来同时实现一维线位移和二维角位移测量的三维测量。本发明能在高精度、高动态条件下,利用同一光路系统实现三个位移参数的测量,并且具有结构装置简单、成本较低、测量速度快的特点,可应用于精密测量、精密仪器、先进制造领