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声表面波器件中声波传播特性的研究的综述报告 声表面波器件(SurfaceAcousticWaveDevice,SAW)是一种基于声波传播的块体波器件。它利用了洛仑兹力(Lorenzforce)和电压诱导的应力效应,将电能和机械振动能转换为一种能在固体表面上以声波形式传播的行波。 SAW器件广泛应用于通信、无线电和传感器等领域,例如:微波限减器、滤波器、频率合成器、频率控制器、数字时钟等。SAW器件比微波器件更优越的地方是它们更加可靠、易于制造、低成本、易于集成,并可以与半导体技术集成。 在SAW器件中,声波的传播特性是非常重要的。SAW器件中的声波在固体表面上传播,通常包括表面剪切波(Rayleigh波)、表面横波(Sezawa波)和表面纵波(Stoneley波)等三种类型。 在SAW器件中,Rayleigh波是最常见的一种表面波,其频率通常范围在10~2000MHz之间。Rayleigh波的传播速度取决于声波在固体表面上的传播距离和固体的材料参数。Rayleigh波的传播速度比体波稍慢。这种表面波是通过电压诱导的应力效应来谐振产生的。Rayleigh波在SAW器件中的应用主要是在滤波器和限减器上。 Sezawa波也是SAW器件中常见的一种表面波,其频率范围在500~3000MHz之间。Sezawa波的传播速度比Rayleigh波快。Sezawa波能够通过机械效应和电压诱导的应力效应来谐振产生。Sezawa波在滤波器、谐振器和延时线等方面具有广泛的应用。 Stoneley波是另一种SAW器件中的表面波,其频率通常在MHz级别。Stoneley波的传播速度比Rayleigh波和Sezawa波都要快。Stoneley波主要通过电压诱导的应力效应来谐振产生。Stoneley波在SAW器件中的应用主要是在物质检测方面,例如重金属探测器、有毒气体探测器和生物传感器等。 通过以上表面波可以得知,SAW器件中的声波传播特性是非常重要和基础的,不同种类的表面波可以在不同方面得到应用。因此,研究SAW器件中声波的传播特性是必不可少的。目前,SAW器件中声波的传播特性研究主要集中在SAW器件的设计、制造、尺寸、厚度、材料和接口等方面。其中,在材料研究方面,非晶合金、铝氧化物(Al2O3)和氧化锌(ZnO)等材料的研究已经得到了广泛的关注。 总之,SAW器件是一种非常重要和优越的块体波器件,声波的传播特性对其性能和应用有着至关重要的作用。未来,在SAW器件的设计和制造中,还需要更加深入的研究和发展,以推动SAW器件应用范围的进一步扩大。