基于微纳结构增强的SPR成像传感技术研究的中期报告.docx
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点阵SPR成像传感器设计及应用研究的中期报告.docx
点阵SPR成像传感器设计及应用研究的中期报告中期报告1.项目背景和意义点阵SPR成像传感器作为一种新型的成像技术,其具有高灵敏度、快速响应、高空间分辨率和可实现多通道成像等特点,被广泛应用于生物医学、环境监测、食品安全检测等领域。本项目旨在设计一种基于点阵SPR技术的光电转换元件,并研究其在生物分析、环境监测等领域的应用。2.研究进展(1)设计并制备点阵SPR传感器芯片。我们使用光刻技术在金属膜表面制备了一系列周期为400nm的点阵结构。通过离子束蚀刻和抛光等工艺步骤,制备得到了具有高品质因子和较大共振角