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光学级制品的动态内应力可视化实验研究的综述报告 光学级制品是以光学元件制造为主的高精度产品,如透镜、棱镜、光学镜面等等。制造过程中,这些光学元件会受到内应力的影响,导致光学性能的衰减或工作寿命的缩短。因此,内应力的测量和控制是光学级制品制造过程中至关重要的一环。 对光学元件内应力的研究可追溯至上世纪40年代末,当时主要采用的是传统的光学测试方法,如扭曲衍射法、棱镜切分法等。这些方法虽然能够定性地描绘光学元件内应力的分布情况,但是对于内应力的定量分析来说并不够准确。此外,这些方法还不适用于非均匀应力场的情况,因此需要采用更为准确的动态测试方法。 近年来,随着科技的发展,现代测试方法被引入到光学级制品内应力的研究中。其中,最常用的方法是激光干涉法、X射线衍射法和电子衍射法。 激光干涉法是一种常用的动态测量方法。其基本原理是根据光路不同的走程差,在光学元件表面形成干涉条纹,从而可以推断出光学元件的形位和内应力分布。激光干涉法具有无接触、高灵敏度、快速测量等优点,广泛应用于光学级制品的测量和研究。 X射线衍射法和电子衍射法则是基于衍射原理的测量方法,其原理类似于扫描电镜。这两种方法可以定量地测量光学元件内的应力分布,但对设备要求较高,操作也比较复杂。 除了以上三种方法,还有一些新兴的测量方法被应用到光学元件内应力的研究中,如全息衍射法、红外热成像法、电四极耦合测试法等。这些方法虽然还处于研究阶段,但是有望成为未来光学元件内应力研究的趋势。 总的来说,光学元件内应力的研究对于提高光学元件制造的质量和性能有着重要的意义。在未来的研究中,可以结合不同的测量方法,多方位地探究光学元件内应力的特性,并提出相应的解决方案和优化措施,不断推动光学级制品制造技术的发展。