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ZnS表面修饰的ZnO纳米棒基气敏器件的制备及其对H2S的气敏性能的开题报告 摘要 本文介绍了一种基于ZnS表面修饰的ZnO纳米棒的气敏器件制备方法,研究了其对H2S气体的气敏特性。通过扫描电镜、X射线衍射和透射电子显微镜分析了样品的形貌和晶体结构;利用气相沉积的方法控制了ZnS与ZnO的配比,获得表面修饰的ZnO纳米棒;将其作为传感器的敏感材料,测量了其对H2S气体的电阻变化率,研究了气敏机理。 结果表明,表面修饰的ZnO纳米棒敏感材料对H2S气体表现出高度的气敏特性。当H2S气体浓度为50ppm时,传感器的响应值达到了88.5%,而对于其他气体,响应值均在5%以下。这表明,表面修饰的ZnO纳米棒对H2S气体有很高的选择性和灵敏度。研究结果表明,表面修饰的ZnO纳米棒具有很大的潜力用于H2S气体检测。 关键词:ZnO纳米棒;表面修饰;气敏器件;H2S气体检测 Abstract Thispaperintroducesamethodforpreparinggas-sensitivedevicesbasedonZnOnanorodssurfacemodifiedbyZnSandstudieditsgassensingpropertiestoH2Sgas.Themorphologyandcrystalstructureofthesamplewereanalyzedbyscanningelectronmicroscopy,X-raydiffractionandtransmissionelectronmicroscopy.TheratioofZnStoZnOwascontrolledbythegasphasedepositionmethod,andthesurface-modifiedZnOnanorodswereobtained.Asasensitivematerialofthesensor,therateofresistancechangetoH2Sgaswasmeasured,andthegassensingmechanismwasstudied. Theresultsshowedthatthesurface-modifiedZnOnanorodsensitivematerialexhibitedhighlysensitivecharacteristicstoH2Sgas.WhentheconcentrationofH2Sgaswas50ppm,theresponsevalueofthesensorreached88.5%,whileforothergases,theresponsevaluewasbelow5%.Thisindicatesthatthesurface-modifiedZnOnanorodhashighselectivityandsensitivitytoH2Sgas.Theresearchresultsshowthatsurface-modifiedZnOnanorodhasgreatpotentialforH2Sgasdetection. Keywords:ZnOnanorod;surfacemodification;gassensingdevice;H2Sgasdetection