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二次非球面顶点半径和二次常数的干涉测量技术研究的综述报告 二次非球面顶点半径和二次常数是反映非球面镜片曲率变化的重要指标之一,它们的测量对于高精度光学系统的性能优化和精度控制具有重要的意义。本文将对二次非球面顶点半径和二次常数的干涉测量技术进行综述。 1.二次非球面顶点半径的干涉测量技术 二次非球面顶点半径是指非球面镜片曲率变化的快速指标,是非球面加工和测试中的重要参数。常见的二次非球面干涉测量技术有:全息干涉法、干涉条纹位移测量法、等相位点测量法和多焦点测量法等。 全息干涉法是一种高精度的测量技术,对于非常规非球面镜片具有很好的适用性。该技术基于全息成像原理,通过干涉条纹的分析和处理,可非常精确地测量出非球面顶点半径。全息干涉法具有极高的精度和灵敏度,但对于大口径和高精度测试的非球面镜片,其成本和复杂性也较高。 干涉条纹位移测量法采用静态及时分割相位测量技术,通过相位差的计算,实现对非球面顶点半径的测量。该技术具有较高的分辨力和精度,适用于小口径和中低精度测试的非球面镜片。 等相位点测量法是一种基于相干光干涉原理的非接触性测量技术,该技术可通过等相位点处的相位值来获取非球面的顶点半径。该方法具有高精度、不需光学接触、测量范围大等特点,但对光源的要求较高,可采用激光作为光源以提高其测量精度和稳定性。 多焦点测量法是一种基于多重反射干涉原理的测量技术,该技术通过多个焦点的干涉图像,来计算非球面顶点半径。该技术测量速度较快,可适用于大口径和高精度测试的非球面镜片,但精度受多重反射干涉图像的质量和处理算法的影响。 2.二次常数的干涉测量技术 二次常数是反映非球面镜片曲率变化快慢的参数,也是非球面设计和加工的重要指标之一。常见的二次常数干涉测量技术有:斜交干涉法、多波长干涉法和自由曲面干涉法等。 斜交干涉法是一种常见的二次常数测量技术,该技术通过斜交干涉条纹来反映非球面曲率的二次变化。该技术测量精度较高,但要求测量精度的限制较大,通常适用于光滑表面的非球面镜片。 多波长干涉法是一种通过多波长光源干涉图像的分析和处理,来计算非球面曲率二次变化的方法。该技术适用于大口径和高精度的非球面镜片测量,但其对于光源的要求也较高。 自由曲面干涉法是一种非接触式测量技术,通过自由曲面的干涉图像,来反映非球面曲率的二次变化。该技术适用于大口径和复杂光学曲面的测量,但对设置实验环境和测量算法的要求较高。 综上所述,二次非球面顶点半径和二次常数的干涉测量技术是非球面加工和测试中非常重要的技术。不同的测量技术具有各自的特点和应用范围,在实际应用中需要根据具体的测试需求和条件选取合适的方法。随着现代光学技术的不断发展和提高,二次非球面顶点半径和二次常数的测量技术也将不断完善和发展。