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固体薄膜材料的制备主要内容真空技术基础真空及其单位粗真空:1×105~1×102Pa目的获得压力差。电容器生产中的真空侵渍工艺 低真空:1×102~1×10-1Pa真空热处理。 高真空:1×10-1~1×10-6Pa真空蒸发。 超高真空:<1×10-6Pa得到纯净的气体;获得纯净的固体表面。 真空系统的组成真空泵主要真空泵的排气原理与范围真空的测量主要内容PVD的含义真空蒸镀的原理真空蒸发的优点真空蒸发的缺点真空蒸发的分类蒸发源电子束法直枪电子束法的原理高频法高频感应加热源的原理溅射镀膜溅射镀膜特点溅射镀膜分类直流溅射的原理射频溅射射频溅射的原理磁控溅射原理示意图离子镀离子镀示意图离子镀的特点2024/10/42024/10/4主要内容CVD的含义CVD分类几种新的CVD方法CVD中的化学反应主要内容溶液镀膜法化学镀溶胶—凝胶法(sol-gel)溶胶—凝胶法特点阳极氧化法LB法