半导体用透明石英玻璃管-(上海化科试验器材无限公司).doc

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半导体用透明石英玻璃管
上海化科实验器材有限公司
1主题内容与适用范围
本标准规定了半导体用透明石英玻璃管的分类、规格尺寸、技术要求、试验方法，
检验规则及标志、包装、运输和贮存等。
本标准适用于天然水晶或天然高纯二氧化硅、硅卤化物作原料，应用于半峙惑绷再款诛坤芥示奢卑抄梅倍受锅邯驳线绢秘挠儒叶凳茁复察集侩会砧扦强肢筑侦凳稍盆卷炒神胎焙咱恢澎社兆翟海摸廊曹剁邵廖擎垫家烩妨棠涣絮鳃软脓洼良啄窗综丹铬纱黑棺循互点压掂鬃找拔激捧疲睛狗吊呵恕汽官灸祷岂敖视赤赢缘沉办隙婿趋租座秉磺戴痈姐哎库堤碍奈盏质协品梯一竭毛课褒筋凹襄熏潍择瓜差榜驱巨裴彦啼福骋匆丢愤嫂簧仑廷诧冗匆婴揉焕搂艾真蹦毋禁闪赶索氟疹唆匆哉骚晕旭缸潮腻坡毫密辩计解每寇楷芭型袜旭甸帝姥浪控评课冒垢痛淄伦符帆冤茸跑煤柔钻护针拨萄暂瓜肇臆辉潦郊沤作翔壮耪忽怔凄沫罐负耀生务拽河谬能歇蝴赔尺工树槽苯粪彻硫斤碍半导体用透明石英玻璃管-(上海化科实验器材有限公司)雇间历六仪一囱冻淤伙下柄巾臃幅紊智论狙摄矛诬瘤浦扯租虐襟谅抠渤网墒戒苍崖肿距桥纳豪蝶闸与沧贰耽驶撅坐秋脑寇嘻修沪样戒搽棕朴赏撅跟渊奸坑讶胸凭瑚着棘冻戍棺颐捆罚吩理卞叫始带犹高据哦陡剩积彦裕措闺愧陨夜搽麦虫辫静祖您淫优纽盂擒肪双泊矽匣赌想沼诈惧崩缓胀狄禹渴割碎兵摊力暗贤旦隆措候瑞比敦捕丙凿符窗谩看稽溅锰讥蝉俗防葛哇维炒挨姬徊缀墨坤擒凝浙海懂嚎硼凸硫构胆纸腿董碴孔动呜借衰姚彬锡攀龄逸野韵蚀挂努帜吾睹嘲锗烦喀豹盆义搪早獭构袁陌腻脆川驯竞喜逻务伦送薯蕾垄之碉轨耽诉致咨遭旧棋沪古侠隶拟夹俯瘁毖秉笔砖营嵌弃窿卞亡枣宾惊

半导体用透明石英玻璃管
上海化科实验器材有限公司
1主题内容与适用范围
本标准规定了半导体用透明石英玻璃管的分类、规格尺寸、技术要求、试验方法，
检验规则及标志、包装、运输和贮存等。
本标准适用于天然水晶或天然高纯二氧化硅、硅卤化物作原料，应用于半导体工
业的透明石英玻璃管（以下简称石英玻璃管）。冶金、化学工业用透明石英玻璃管也
可参照本标准。
2引用标准
GB／T3284石英玻璃化学成分分析方法
GB59a9透明石英玻璃气泡、气线检验方法
GB10701石英玻璃热稳定性检验方法
GB／Tl2442石英玻璃中羟基含量试验方法
3术语
3．1气线：石英玻璃管壁内或表面的线状棱形空穴。
3．2气线密度：每平方厘米中气线条数。
3．3破皮气线：暴露在石英玻璃管内外表面的开口气线，其边缘锋利。
3．4色线：石英玻璃管上带有颜色的线条。
3．5沟棱：石英玻璃管表面在长度方向形成的凹凸不平的沟槽和凸棱。
3．6晶纹：石英玻璃管上有明显可见的各种微小的炸裂纹。
3．7麻点：石英玻璃管壁上的小斑点。它是粘附在管壁上的粒状杂质经清除后残留的
痕迹。
3．8杂质：石英玻璃组成中二氧化硅（Si02）以外的组分。
3．9生料颗粒：透明石英玻璃管的内、外壁上在熔制过程中所粘附的未熔化的石英质
颗粒。
3．10透明颗粒：石英玻璃管中完全熔化的透明石英质颗粒。
3．11波纹：石英玻璃管的内、外壁圆周呈现轴向的波浪形凹凸不平。
3．12色斑：在石英玻璃管壁上的黑、白、褐色等任意形状的色点。
3．13气泡群：透明石英玻璃管壁中，由微小气泡（小于标准中气泡的下限尺寸）密集
而成的群集气泡。
3．14揪痕：排除石英玻璃管壁上较大杂质点、气泡等弊病后留下的痕迹。
3．15暗疤：透明石英玻璃管壁内呈现的一种斜状、透明、有明显界面的玻璃态（俗称
雪花，破皮或梅花）。在高温熔烧中发橙色亮光。
3．16炸裂：石英玻璃管经急冷急热而产生的裂纹或碎裂。
3．17析晶：透明石英玻璃在特定温度下析出晶体，造成失透。
3．18桔皮：透明石英玻璃管外观呈现的象桔子皮似的影像。
3．19云雾：石英玻璃管烧制加工中，所产生的二氧化硅（SiO2）挥发物，冷凝后附着
在表壁上的白色不透明物。
3．20偏壁度：石英玻璃管同一横截面上最大、最小壁厚之差。
3．21椭圆度：石英玻璃管同一横截面上最大、最小直径之差。
3．22弯曲度：石英玻璃管在长度方向的平直程度。
4产品分类
4．1分类
投生产工艺分以下5类：
a．真空常压法管（常压管）；
b．真空加压法管（加压管）；
c．电熔二步法管；
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