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惯性微开关的制作及正性厚胶工艺研究的开题报告
一、选题背景及研究意义
惯性微开关是一种微型电子器件，是现代微电子技术的重要组成部分，被广泛应用于汽车、机器人、航空航天、医疗设备等领域。其基本原理是通过物体的惯性作用来产生开关信号，其结构简单、体积小、使用寿命长，具有实用价值。
本文主要研究惯性微开关的制作及正性厚胶工艺。正性厚胶是一种常用的微机电系统（MEMS）制造工艺，其具有高精度、高重复性、高可靠性、低成本等优点，已经被广泛应用于MEMS器件的制造。因此，通过研究正性厚胶工艺，在制作惯性微开关方面具有重要的应用价值。
二、研究内容
1.惯性微开关的制作工艺研究
惯性微开关的制作包括以下几个步骤：制备衬底、生长膜、选择模板、光刻、腐蚀、刻蚀模板、清洗、抛光、激光加工等。本研究将根据已有的文献及实验经验，结合正性厚胶工艺要求对惯性微开关的制作工艺进行探讨。
2.正性厚胶工艺研究
正性厚胶工艺是一种常用的MEMS器件制造工艺，其主要步骤包括：衬底预处理、底部曝光、后烘烤、厚度测量、顶部曝光、后顶部烘烤、开发、清洗等。本研究将根据已有的文献及实验经验，对正性厚胶工艺的优缺点及适用范围进行分析。
3.惯性微开关的性能测试
制作完成的惯性微开关需要进行多项性能测试，包括机械特性测试、电气测试等。本研究将根据制作工艺及正性厚胶工艺制作的惯性微开关进行多项性能测试，并对测试结果进行分析。
三、预期结果
通过以上工作，预期将实现以下结果：
1.设计出适合正性厚胶工艺制作的惯性微开关原型。
2.提出正性厚胶工艺在制作惯性微开关中的优化方案，并开展实验验证。
3.对设计成型的惯性微开关进行特性测试，了解其机械、电学性能并分析其性能。
四、研究方法
本研究将采取以下主要方法：
1.参考已有文献，并结合实验经验对惯性微开关的制作工艺进行探讨。
2.参考已有文献，并结合实验经验对正性厚胶工艺进行分析。
3.制作测试设备进行特性测试，并对测试结果进行分析。
五、进度安排
本研究的时间安排如下：
1.2022年2月-3月：文献查阅和实验准备。
2.2022年3月-5月：进行惯性微开关制作及正性厚胶工艺研究。
3.2022年5月-7月：完成惯性微开关的性能测试，并分析测试结果。
4.2022年7月-8月：撰写毕业论文，进行答辩。
六、参考文献
[1]王泽锋.惯性微开关设计与应用[J].中外科技创新,2019.
[2]芳竹伸太郎.微机电系统基础[M].北京:机械工业出版社,2018.
[3]陈芸,张梦圆,王智鹏.正性厚胶光刻技术的最新进展[J].中国微纳米技术,2020.
[4]陈昌文,梁冰,顾帅.微惯性传感器制备及性能测试[J].物理杂志,2018.