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基于MetalMumps工艺的RFMEMS可调滤波器的研究的开题报告
题目：基于MetalMumps工艺的RFMEMS可调滤波器的研究
一、研究背景
无线通信技术近年来得到了飞速的发展，随着通信频段的不断增多，无线设备对于滤波器的需求也越来越高。传统的电子滤波器虽然已经广泛应用，但是难以满足高性能、高频段、小尺寸的需求。与传统的电子滤波器相比，RFMEMS可调滤波器具有尺寸小、品质因数高、频段宽、可调性强等优点，已经成为广泛研究的热点之一。
MetalMumps是一种先进的微加工工艺，具有高精度、高可靠性、低成本等优点，尤其适合用于制作微机电系统。基于MetalMumps工艺的RFMEMS可调滤波器具有制作工艺简单、可重复性好、性能稳定等优点，有望成为一种新的滤波器制作技术。
二、研究目的
本研究旨在研究基于MetalMumps工艺制作的RFMEMS可调滤波器，通过优化设计及制作工艺，实现高性能、高频段、小尺寸的可调滤波器，为满足无线通信设备对于滤波器的需求提供新技术和新方案。
三、研究内容
（1）研究MetalMumps工艺在RFMEMS制作中的应用，了解该工艺的特点、优点和适用范围；
（2）对已有的RFMEMS滤波器进行分析、研究，寻找优化设计方案；
（3）通过仿真软件对优化设计方案进行仿真和优化；
（4）制作基于MetalMumps工艺的RFMEMS可调滤波器样品；
（5）对制作的样品进行性能测试和分析，总结制作方法及性能表现。
四、研究意义
（1）提高RFMEMS滤波器的制作精度和工艺可靠性，为其实际应用提供可靠的基础；
（2）寻找基于MetalMumps工艺制作RFMEMS可调滤波器的优化设计方案，为其在实际应用中发挥更好的性能提供技术支持；
（3）通过研究RFMEMS可调滤波器的制作工艺及性能表现，为其在无线通信设备领域的应用提供技术支持和参考。
五、研究方法
本研究采用文献调研、仿真设计及制作实验等方法，具体包括以下步骤：
（1）阅读相关文献，了解RFMEMS、滤波器的基础理论和MetalMumps工艺的原理及应用；
（2）对已有的RFMEMS滤波器进行分析研究，总结出优化设计方案；
（3）利用仿真软件对优化设计方案进行仿真和优化；
（4）根据仿真结果，制作基于MetalMumps工艺的RFMEMS可调滤波器样品；
（5）对制作的样品进行性能测试和分析，总结制作方法及性能表现。
六、进度计划
阶段|时间节点|完成内容
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第一阶段|2021.10-2021.11|文献调研，对已有的RFMEMS滤波器进行分析研究
第二阶段|2021.12-2022.01|仿真设计及优化
第三阶段|2022.02-2022.03|根据仿真结果制作样品
第四阶段|2022.04-2022.05|对样品进行性能测试和分析
第五阶段|2022.06-2022.07|撰写论文并进行答辩
七、参考文献
[1]景凡,上官明生.基于MEMS技术的可调滤波器研究进展[J].传感技术学报,2016,29(12):1606-1614.
[2]BaoJingfu,ChenJianchen,LiZhan,etal.DesignandsimulationofanRFMEMStunableband-passfilter[C]//2016IEEEMTT-SInternationalMicrowaveWorkshopSeriesonAdvancedMaterialsandProcessesforRFandTHzApplications(IMWS-AMP).IEEE,2016:1-2.
[3]ZhangY,ZhouJ,ChenJ.Acompactultra-widebandRFMEMStunablebandpassfilterusingmetalMUMPsprocess[C]//2008IEEEInternationalConferenceonNano/MicroEngineeredandMolecularSystems.IEEE,2008:954-957.