柱面线圈射频感性耦合等离子体放电特性的实验研究的开题报告.docx

柱面线圈射频感性耦合等离子体放电特性的实验研究的开题报告
一、选题背景
等离子体放电是一种在高压、高频下电离气体产生的一种物理现象，它具有广泛的应用，如等离子体加工、等离子体显示、核聚变等。而射频感性耦合等离子体放电是一种产生低温等离子体的一种常见方式，它能够产生稳定的等离子体，具有很好的应用前景。
目前，射频感性耦合等离子体放电的研究在国内外得到了广泛的关注，然而其中柱面线圈射频感性耦合等离子体放电的研究却不够充分，特别是针对于其特性的实验研究报告较少。因此，本次选题旨在通过实验研究，探究柱面线圈射频感性耦合等离子体放电特性，为其优化设计提供研究基础。
二、研究目的
1.探究射频感性耦合等离子体放电的基本机理；
2.研究柱面线圈射频感性耦合等离子体放电的空间分布和时间演化特性；
3.分析实验结果，为柱面线圈射频感性耦合等离子体放电的优化设计提供参考。
三、研究内容
1.搭建柱面线圈射频感性耦合等离子体放电实验系统，对其进行优化；
2.观察柱面线圈射频感性耦合等离子体放电的放电现象，记录并分析其放电参数；
3.对柱面线圈射频感性耦合等离子体放电的空间分布和时间演化特性进行实验分析，得到不同时点空间上气体电离度的分布图；
4.将实验结果进行数据分析，得到柱面线圈射频感性耦合等离子体放电的主要特性。
四、研究方法
1.建立柱面线圈射频感性耦合等离子体放电模型，并进行仿真；
2.搭建柱面线圈射频感性耦合等离子体放电实验系统，进行实验研究；
3.利用高分辨率成像技术对柱面线圈射频感性耦合等离子体放电的空间分布进行研究；
4.结合理论与实验分析，为柱面线圈射频感性耦合等离子体放电的优化设计提出参考建议。
五、预期成果
1.获得柱面线圈射频感性耦合等离子体放电的实验数据；
2.得到柱面线圈射频感性耦合等离子体放电的空间分布和时间演化特性；
3.提出柱面线圈射频感性耦合等离子体放电的优化设计建议；
4.完成科技论文发表。
六、论文结构
1.绪论：包括等离子体放电的研究背景及选题意义、研究现状、研究目的和内容、研究方法和研究预期成果等；
2.理论分析：对柱面线圈射频感性耦合等离子体放电的等离子体形态、射频场分布、气体电离机制等进行理论分析；
3.实验研究：介绍实验系统设计、实验过程、实验结果及数据分析等；
4.结果和讨论：根据实验结果分析柱面线圈射频感性耦合等离子体放电的特性，提出其优化设计建议；
5.结论和展望：概括论文所述的研究成果和发现，并展望柱面线圈射频感性耦合等离子体放电未来的研究方向；
6.参考文献。