一种硅片抛光机边缘导轮.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN106272038A(43)申请公布日2017.01.04(21)申请号201510303034.2(22)申请日2015.06.04(71)申请人有研半导体材料有限公司地址101300北京市顺义区林河工业开发区双河路南侧(72)发明人孙超刘建涛赵晶叶林(74)专利代理机构北京北新智诚知识产权代理有限公司11100代理人刘秀青熊国裕(51)Int.Cl.B24B37/34(2012.01)权利要求书1页说明书2页附图1页(54)发明名称一种硅片抛光机边缘导轮(57)摘要本发明公开了一种硅片抛光机边缘导轮，该导轮通过连接臂固定连接在硅片抛光机的底座上，该导轮包括转动组件和外圈，该转动组件包括上盖、下盖、中轴、轴承和轴承外套；其中，两个轴承通过过渡配合安装在中轴上，该两个轴承的外缘通过过渡配合套在轴承外套内；上盖位于轴承外套上部，且其上缘具有一凸起；下盖位于轴承外套下部，且其下缘具有一凸起；上盖、轴承外套及下盖经螺钉固定连接，且轴承外套与下盖之间通过凹凸错台结构的相互咬合；外圈安装在转动组件的外部，该外圈的上端和下端分别开有凹槽，其中上端凹槽与上盖上缘的凸起卡合，下端凹槽与下盖下缘的凸起卡合。本发明的硅片抛光机边缘导轮可实现硅片抛光过程中陶瓷板的稳定旋转，稳定性好，寿命长。CN106272038ACN106272038A权利要求书1/1页1.一种硅片抛光机边缘导轮，该导轮通过连接臂固定连接在硅片抛光机的底座上，其特征在于，该导轮包括转动组件和外圈，该转动组件包括上盖、下盖、中轴、轴承和轴承外套；其中，两个轴承通过过渡配合安装在中轴上，该两个轴承的外缘通过过渡配合套在轴承外套内；上盖位于轴承外套上部，且其上缘具有一凸起；下盖位于轴承外套下部，且其下缘具有一凸起；上盖、轴承外套及下盖经螺钉固定连接，且轴承外套与下盖之间通过凹凸错台结构的相互咬合；外圈安装在转动组件的外部，该外圈的上端和下端分别开有凹槽，其中上端凹槽与上盖上缘的凸起卡合，下端凹槽与下盖下缘的凸起卡合。2.根据权利要求1所述的硅片抛光机边缘导轮，其特征在于，连接臂与中轴连接处设置有V型密封圈，上盖和中轴、下盖与中轴之间设置有O型密封圈，防止液体进入轴承部分影响轴承寿命。3.根据权利要求1所述的硅片抛光机边缘导轮，其特征在于，所述固定连接臂与所述中轴通过螺钉固定连接。4.根据权利要求1所述的硅片抛光机边缘导轮，其特征在于，所述外圈的材质为耐磨材料。5.根据权利要求4所述的硅片抛光机边缘导轮，其特征在于，所述耐磨材料为工程塑料。6.根据权利要求1所述的硅片抛光机边缘导轮，其特征在于，所述外圈为一体式设计，在转角处导出圆角，且其直径变化处加工有斜坡形让渡截面，方便抛光头上下动作。2CN106272038A说明书1/2页一种硅片抛光机边缘导轮技术领域[0001]本发明涉及一种硅片抛光机边缘导轮，属于硅片抛光技术领域。背景技术[0002]半导体硅材料抛光机边缘导轮，其作用主要分两点，一是辅助定位陶瓷板位置，使抛光头下压时能够准确对正陶瓷板，二是在大盘以40rpm带动陶瓷板旋转时，侧向支撑陶瓷板，辅助陶瓷板旋转。在抛光过程中，边缘导轮从侧向顶住陶瓷板，并随着陶瓷板的旋转而旋转，起到定位与辅助旋转的作用，抛光头下压压力为300kg/cm2，所以在抛光头旋转过程中，边缘导轮侧向受力。在现有的边缘导轮结构下，中轴和固定连接臂连接处不好拆卸，上下盖之间靠螺钉连接紧固，螺钉断裂几率高，导致边缘导轮整体寿命短，影响设备正常运行。发明内容[0003]本发明的目的在于提供一种新结构的硅片抛光机边缘导轮。[0004]为实现上述目的，本发明采取以下技术方案：[0005]一种硅片抛光机边缘导轮，该导轮通过连接臂固定连接在硅片抛光机的底座上，该导轮包括转动组件和外圈，该转动组件包括上盖、下盖、中轴、轴承和轴承外套；其中，[0006]两个轴承通过过渡配合安装在中轴上，该两个轴承的外缘通过过渡配合套在轴承外套内；上盖位于轴承外套上部，且其上缘具有一凸起；下盖位于轴承外套下部，且其下缘具有一凸起；上盖、轴承外套及下盖经螺钉固定连接，且轴承外套与下盖之间通过凹凸错台结构的相互咬合；[0007]外圈安装在转动组件的外部，该外圈的上端和下端分别开有凹槽，其中上端凹槽与上盖上缘的凸起卡合，下端凹槽与下盖下缘的凸起卡合。[0008]本发明的硅片抛光机边缘导轮的使用环境为液体溅射环境，因此，在连接臂与中轴连接处设置有V型密封圈，上盖和中轴、下盖与中轴之间设置有O型密封圈，防止液体进入轴承部分影响轴承寿命。[0009]在本发明的硅片抛光机边缘导轮中，所述固定连接臂与所述中轴通过螺钉固定连接，易于拆卸与维修。[0010]在本发明的硅片抛光机边缘导轮中，