一种引出电极的电极轴驱动装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN106409641A(43)申请公布日2017.02.15(21)申请号201610857751.4(22)申请日2016.09.28(71)申请人中国电子科技集团公司第四十八研究所地址410111湖南省长沙市天心区新开铺路1025号(72)发明人彭立波袁卫华易文杰钟新华胡振东王迪平孙雪平(74)专利代理机构湖南兆弘专利事务所(普通合伙)43008代理人周长清徐好(51)Int.Cl.H01J37/317(2006.01)H01J37/30(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图2页(54)发明名称一种引出电极的电极轴驱动装置(57)摘要本发明公开了一种引出电极的电极轴驱动装置，包括电机、主动带轮、从动带轮及绕设于主动带轮和从动带轮上的传动带，所述电机的输出轴与所述主动带轮的轮轴连接，还包括连续调节组件，所述连续调节组件包括凸轮、摆杆及用于使摆杆的摆动端与凸轮紧贴的弹性件，所述凸轮安装于所述从动带轮的轮轴上，所述摆杆安装于引出电极的电极轴上。本发明具有结构简单、能实现连续调节和微小角度调节等优点。CN106409641ACN106409641A权利要求书1/1页1.一种引出电极的电极轴驱动装置，包括电机（1）、主动带轮（2）、从动带轮（3）及绕设于主动带轮（2）和从动带轮（3）上的传动带（4），所述电机（1）的输出轴与所述主动带轮（2）的轮轴连接，其特征在于：还包括连续调节组件（5），所述连续调节组件（5）包括凸轮（51）、摆杆（52）及用于使摆杆（52）的摆动端与凸轮（51）紧贴的弹性件（53），所述凸轮（51）安装于所述从动带轮（3）的轮轴上，所述摆杆（52）安装于引出电极（6）的电极轴（61）上。2.根据权利要求1所述的引出电极的电极轴驱动装置，其特征在于：所述摆杆（52）上开设有凹槽（521）并于凹槽（521）内安装轴承（54），所述轴承（54）的外圈与所述凸轮（51）形成切线接触。3.根据权利要求2所述的引出电极的电极轴驱动装置，其特征在于：所述摆杆（52）一端为环状并套设于所述电极轴（61）上，另一端与所述弹性件（53）连接，所述凹槽（521）位于摆杆（52）中段。4.根据权利要求1所述的引出电极的电极轴驱动装置，其特征在于：所述从动带轮（3）的轮轴上装设有单圈旋转电位器（71）。5.根据权利要求1所述的引出电极的电极轴驱动装置，其特征在于：所述电机（1）上装设有多圈旋转电位器（72）。6.根据权利要求1至5中任一项所述的引出电极的电极轴驱动装置，其特征在于：所述主动带轮（2）的直径小于从动带轮（3）的直径。7.根据权利要求1至5中任一项所述的引出电极的电极轴驱动装置，其特征在于：所述弹性件（53）为弹簧。8.根据权利要求1至5中任一项所述的引出电极的电极轴驱动装置，其特征在于：所述电机（1）为伺服电机。2CN106409641A说明书1/3页一种引出电极的电极轴驱动装置技术领域[0001]本发明涉及SiC高温高能离子注入机，尤其涉及一种引出电极的电极轴驱动装置。背景技术[0002]SiC作为第三代半导体材料被广泛用于制作新一代高效节能的电力电子器件，涉及国民经济的各个领域。SiC高温高能离子注入机的作用就是把要掺杂元素的离子加速，使获得很大动能的杂质离子直接进入SiC晶片中的晶格，离子注入后进行退火激活。首先由送入离子源弧室的气体电离产生等离子体，引出电极将带正电荷的离子从弧室中吸引出，从而形成离子束流。当在相对于弧室为低电压的引出电极上加负高压时，等离子体中的带正电荷的离子束流就会被引出电极吸出，当加在引出电极与弧室间的高压不变，而引出电极相对于弧室的面向位置平行度改变使，吸出的带正电的离子束流在垂直传输方向会发生改变，极大地影响离子束流的传输效率。[0003]专利文献CN104392882A公开了一种离子注入机的引出电极驱动装置，其第一伺电机通过第一带轮组件带动少齿宽面小齿轮转动，少齿宽面小齿轮转动时通过与其啮合的多齿窄面大齿轮带动电极轴转动；第二伺服电机通过第二带轮组件带动滚珠丝杠转动，滚珠丝杠的转动转换为丝杠螺母的上下滑动，丝杠螺母通过多齿窄面大齿轮带动电极轴升降运动。由于该离子注入机的引出电极驱动装置采用两级齿轮啮合的方式带动电极轴旋转，调节精度较差，齿轮旋转一圈转动角度过大，不能实现微小角度的调节，且无法实现连续调节。发明内容[0004]本发明要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种结构简单、能实现连续调节和微小角度调节的引出电极的电极轴驱动装置。[0005]为解决上述技术问题，本发明采用以下技术方案：一种引出电极的电极轴驱动装置，包括电机、主动带轮、从动带轮及绕设于主动带轮和从动带轮上的传动带，所述电机的输出轴