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基于共焦显微技术的大口径高曲率光学元件的轮廓扫描测量装置及方法.pdf
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基于共焦显微技术的大口径高曲率光学元件的轮廓扫描测量装置及方法.pdf
基于共焦显微技术的大口径高曲率光学元件的轮廓扫描测量装置及方法，涉及光学精密测量技术领域，为了解决现有测量大口径高曲率光学元件的方法检测难度大、测量速度慢、误差大的问题。激光器发出的激光经依次经过准直镜、光阑、二向色镜和物镜，物镜将激光聚焦至待测样品，待测样品表面激发出的荧光依次经物镜、二向色镜、滤光片转换器、汇聚透镜和针孔，最终入射至光电探测器。本发明适用于测量大口径高曲率光学元件及微结构光学元件。
2023-09-03
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横向快速扫描共焦测量装置及基于该装置的光学元件表面轮廓测量方法，属于光学领域，本发明为解决现有共焦逐点测量时轴向扫描效率低，导致对样品长时间照明容易引起中介层荧光猝灭，影响最终的面形测量精度的问题。本发明包括照明模块、扫描模块、探测模块和宽场成像模块；照明模块按照照明光传播方向依次为激光器、单模光纤、准直器、二向色镜、分光棱镜和物镜；探测模块按照信号光传播方向依次为物镜、分光棱镜、二向色镜、滤光片、第一收集透镜、多模光纤和光电倍增管；扫描模块包括二维扫描振镜、扫描透镜和管镜；宽场成像模块包括CCD和第二收
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一种基于针孔随动高速扫描共焦显微技术的大口径光学元件测量装置和方法，属于光学精密测量技术领域，为了解决共焦显微技术测量大口径光学元件测量效率低的问题。激光器发出的p光(s光)通过耦合光纤输出，依次经过物镜、四分之一波片和物镜，物镜将激光汇聚至待测样品，载有待测样品信息的反射光依次经过物镜、四分之一波片变为s光(p光)、物镜，回到耦合光纤，最终入射至光电探测器，高速微位移执行器带动耦合光纤扫描，从而完成对被测点的测量。本发明适用于测量大口径光学元件表面轮廓。
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基于共聚焦显微原理的大口径光学元件母线轮廓测量方法，属于光学精密测量技术领域，解决了现有大口径光学元件的共聚焦轮廓测量方法的效率低的问题。本发明所述的方法基于大口径光学元件母线轮廓测量装置实现，其包括建立三维直角坐标系、使激光入射至母线的一端并形成聚焦光斑、使所述聚焦光斑沿着所述母线连续移动至所述母线的另一端、激光器自其初始位置沿Z轴方向以预设的位移朝向待测大口径光学元件做周期性的往返运动、复合轴向包络响应曲线生成模块根据光电探测器发来的电信号生成复合轴向包络响应曲线、动态复合运动模型模块根据该曲线计算得
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本发明公开了一种基于共焦显微技术的大口径非球面谐衍射样品测量装置与方法，所述装置由共焦显微模块、直线运动平台模块和被测样品构成，所述的共焦显微模块的照明模块按照照明光传播方向依次为：激光器、准直镜、光阑、分光棱镜和物镜；探测模块按照信号光传播方向依次为：物镜、分光棱镜、滤光片、收集透镜、针孔和光电探测器；所述的照明模块、探测模块共用物镜与分光棱镜；所述的直线运动平台模块为气浮直线导轨；所述的被测样品为非球面谐衍射元件的待测样品。本发明首次通过共焦技术进行大口径谐衍射元件轮廓测量，提出了曲面基底台阶高度计算
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