一种双面研磨抛光机.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN106425830A(43)申请公布日2017.02.22(21)申请号201611000010.0(22)申请日2016.11.14(71)申请人宜兴市晶科光学仪器有限公司地址214211江苏省无锡市宜兴市和桥镇鹅州南路345号(72)发明人欧仕明姜建军石矿欧国春(74)专利代理机构南京天华专利代理有限责任公司32218代理人李德溅徐冬涛(51)Int.Cl.B24B37/08(2012.01)B24B37/28(2012.01)B24B37/34(2012.01)B24B37/005(2012.01)B24B37/013(2012.01)权利要求书1页说明书3页附图1页(54)发明名称一种双面研磨抛光机(57)摘要本发明公开了一种双面研磨抛光机，包括上盘，所述上盘的正下方设有下盘（1），上盘和下盘（1）采用不同的电机驱动且两者的转动方向相反，所述下盘（1）的外缘侧设有内齿圈（2）且下盘（1）的中部设有太阳轮（3），在下盘（1）上放置有作为工装夹具的行星轮（4），行星轮（4）的两侧分别与内齿圈（2）和太阳轮（3）啮合且内齿圈（2）和太阳轮（3）采用不同的电机驱动，使得行星轮（4）在内齿圈（2）和太阳轮（3）的作用下既能自转又能围绕太阳轮（3）公转。本发明使得工件在载体内形成至少三个方向的速度相互协调的磨削运动，两面均匀磨削、阻力小、效率高且不损伤工件，适用于硅片、蓝宝石衬底以及外延片的研磨抛光。CN106425830ACN106425830A权利要求书1/1页1.一种双面研磨抛光机，包括上盘，其特征在于：所述上盘的正下方设有与之对应的下盘（1），上盘和下盘（1）采用不同的电机驱动且两者的转动方向相反，所述下盘（1）的外缘侧设有内齿圈（2）且下盘（1）的中部设有太阳轮（3），在下盘（1）上放置有作为工装夹具的行星轮（4），行星轮（4）的两侧分别与内齿圈（2）和太阳轮（3）啮合且内齿圈（2）和太阳轮（3）采用不同的电机驱动，使得行星轮（4）在内齿圈（2）和太阳轮（3）的作用下既能自转又能围绕太阳轮（3）公转。2.根据权利要求1所述的双面研磨抛光机，其特征在于：所述内齿圈（2）和太阳轮（3）的转动方向相反且内齿圈（2）和行星轮（4）的转动方向相同。3.根据权利要求1所述的双面研磨抛光机，其特征在于：所述的太阳轮（3）从下盘（1）中部的太阳轮安装孔（5）中伸出。4.根据权利要求1或3所述的双面研磨抛光机，其特征在于：所述的下盘（1）能够在升降机构的作用下上升取件或落位装件。5.根据权利要求3所述的双面研磨抛光机，其特征在于：所述太阳轮（3）中部的驱动安装孔（6）中安装有上盘驱动件（7），上盘驱动件（7）凸出太阳轮（3）且上盘驱动件（7）上设有用于固定上盘的定位沟槽（8）。6.根据权利要求1所述的双面研磨抛光机，其特征在于：所述的上盘、下盘（1）、内齿圈（2）和太阳轮（3）采用四个不同的电机驱动。2CN106425830A说明书1/3页一种双面研磨抛光机技术领域[0001]本发明涉及光学技术领域，具体地说一种能够对工件进行双面研磨抛光的双面研磨抛光机。背景技术[0002]现有的光学工件加工中，一般采用单面的研磨抛光机，无论是研磨工序还是抛光工序，光学工件都要先加工一面后再加工另一面，费时费力且生产成本高。发明内容[0003]本发明的目的是针对现有技术存在的问题，提供一种能够对工件进行双面研磨抛光的双面研磨抛光机。[0004]本发明的目的是通过以下技术方案解决的：一种双面研磨抛光机，包括上盘，其特征在于：所述上盘的正下方设有与之对应的下盘，上盘和下盘采用不同的电机驱动且两者的转动方向相反，所述下盘的外缘侧设有内齿圈且下盘的中部设有太阳轮，在下盘上放置有作为工装夹具的行星轮，行星轮的两侧分别与内齿圈和太阳轮啮合且内齿圈和太阳轮采用不同的电机驱动，使得行星轮在内齿圈和太阳轮的作用下既能自转又能围绕太阳轮公转。[0005]所述内齿圈和太阳轮的转动方向相反且内齿圈和行星轮的转动方向相同。[0006]所述的太阳轮从下盘中部的太阳轮安装孔中伸出。[0007]所述的下盘能够在升降机构的作用下上升取件或落位装件。[0008]所述太阳轮中部的驱动安装孔中安装有上盘驱动件，上盘驱动件凸出太阳轮且上盘驱动件上设有用于固定上盘的定位沟槽。[0009]所述的上盘、下盘、内齿圈和太阳轮采用四个不同的电机驱动。[0010]本发明相比现有技术有如下优点：本发明通过采用不同的电机驱动且两者转动方向相反的上盘和下盘对工件进行研磨抛光，且通过内齿圈、太阳轮和行星轮的设置，使得工件在载体内作既公转又自转的游星运动，磨削阻力小不损伤工件，而且两面均匀磨削生产效率高，需要双面研磨抛光的工件用双面机进行研