除尘喷嘴以及除尘装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN106563667A(43)申请公布日2017.04.19(21)申请号201610014288.7(22)申请日2016.01.11(30)优先权数据2015-1995822015.10.07JP(71)申请人拓秀有限会社地址日本国大阪府高槻市大和1丁目19番地3号(72)发明人宇泽启久保孝夫(74)专利代理机构中国专利代理(香港)有限公司72001代理人崔幼平李婷(51)Int.Cl.B08B5/02(2006.01)B08B5/04(2006.01)B05B13/02(2006.01)权利要求书1页说明书5页附图6页(54)发明名称除尘喷嘴以及除尘装置(57)摘要提供一种除尘喷嘴，能够集中且高效率地对电子元件中要求特别高的洁净度的传感器等小面积的部分进行清洁。在由气体对局部具备要求超高洁净度的要除尘小面部的电子元件进行清洁的除尘喷嘴中，具备用于使气体朝向要除尘小面部的轮廓（L）内喷出的气体喷出孔（3），和以包围气体喷出孔（3）状地配设并由要除尘小面部的上述轮廓的外方吸引喷出的气体的气体吸入孔（4）。CN106563667ACN106563667A权利要求书1/1页1.一种除尘喷嘴，由气体对局部具备要求超高洁净度的要除尘小面部（2）的电子元件（6）进行清洁，其特征在于，具备用于使气体朝向上述要除尘小面部（2）的轮廓（L）内喷出的气体喷出孔（3），和以包围上述气体喷出孔（3）状地配设并由上述要除尘小面部（2）的上述轮廓（L）的外方吸引喷出的气体的气体吸入孔（4）。2.如权利要求1所述的除尘喷嘴，其特征在于，在上述电子元件（6）上沿着上述要除尘小面部（2）的上述轮廓（L）的外方的部分或遍及整周地配设有极细配线（8），不使气体直接喷到上述极细配线（8）地瞄准上述要除尘小面部（2）从上述气体喷出孔（3）喷出气体。3.如权利要求1或2所述的除尘喷嘴，其特征在于，上述要除尘小面部（2）是传感器。4.一种除尘装置，其特征在于，具备将电子元件组（10）排列成相互平行的多列状并间歇地进行进给的运送机构（20），和沿与上述运送机构（20）的上述进给的方向正交的宽度方向并设的多个除尘喷嘴（1），上述电子元件组（10）的各电子元件（6）局部具备要求超高洁净度的要除尘小面部（2），上述各除尘喷嘴（1）具备用于使气体朝向上述要除尘小面部（2）的轮廓（L）内喷出的气体喷出孔（3），和以包围上述气体喷出孔（3）状地配设并由上述要除尘小面部（2）的上述轮廓（L）的外方吸引喷出的气体的气体吸入孔（4），进而，与上述电子元件组（10）的各列相对应地配设有多个除尘喷嘴（1），相对于由上述运送机构（20）间歇地输送并成为了停止状态的上述电子元件（6），朝向上述要除尘小面部（2）的轮廓（L）内喷出气体，并且由上述要除尘小面部（2）的上述轮廓（L）的外方吸引喷出的气体。2CN106563667A说明书1/5页除尘喷嘴以及除尘装置技术领域[0001]本发明涉及除尘喷嘴以及除尘装置。背景技术[0002]例如，具备CMOS图象传感器或CCD图象传感器等的小面部（小型的）电子元件在印刷电路板或者盒式托盘上排列成多列地配设，并在生产线上流动。[0003]（小型的）电子元件中的上述小面部是尤其要求超高洁净度的部位。以往，公知有通过气体的喷出、吸引而将附着在上述小面部上的尘埃或微粒等异物除去的除尘装置（参照专利文献1）。[0004]专利文献1：日本国特开2014－100622号公报。[0005]但是，以往的除尘装置是通过考虑了与印刷电路板或者盒式托盘的整个宽度相对应的横长的清洁头（除尘头）向上述小面部以外的部位也吹喷气体来进行除尘、清洁。因在小面部以外的部位消耗多余的气体，有最需要除尘的重要的小面部的清洁效率降低的缺点。此外，一般来说在该小面部的外方位置大多存在直径为数十微米的极细配线，极细配线有因高压、高速的气体的吹喷而断线、损伤的可能性。发明内容[0006]为此，本发明的目的在于提供一种除尘喷嘴以及除尘装置，能够集中并且高效率地对电子元件中要求特别高的洁净度的上述的传感器等的小面积的部分进行清洁。[0007]本发明所涉及的除尘喷嘴是由气体对局部具备要求超高洁净度的要除尘小面部的电子元件进行清洁的除尘喷嘴，其中，具备用于使气体朝向上述要除尘小面部的轮廓内喷出的气体喷出孔，和以包围上述气体喷出孔状地配设并由上述要除尘小面部的上述轮廓的外方吸引喷出的气体的气体吸入孔。[0008]此外，在上述电子元件上沿着上述要除尘小面部的上述轮廓的外方的部分或遍及整周地配设有极细配线，不使气体直接喷到上述极细配线地瞄准上述要除尘小面部从上述气体喷出孔喷出气体。[0009]此外，上述要除尘小面部是传感器。[0010]此外，本