一种铝箔胶带热处理装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN106591748A(43)申请公布日2017.04.26(21)申请号201611161727.3(22)申请日2016.12.15(71)申请人苏州欣航微电子有限公司地址215000江苏省苏州市相城区渭塘镇钻石路2008号5号楼2楼(72)发明人周钢(74)专利代理机构江阴大田知识产权代理事务所(普通合伙)32247代理人陈建中(51)Int.Cl.C22F1/04(2006.01)C21D9/52(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图1页(54)发明名称一种铝箔胶带热处理装置(57)摘要本发明公开了一种铝箔胶带热处理装置，包括机架，机架上设有放卷轮，机架的一侧上设有从动轮，放卷轮与从动轮对应；机架的另一侧上设有主动轮与第二辅助轮，主动轮与第二辅助轮啮合，主动轮与第二安装轴之间设有第一辅助轮，第二辅助轮与第三安装轴之间设有收卷轮；机架上设有传动轮，传动轮通过第五安装轴安装在机架上，机架上设有侧板，从动轮与主动轮之间设有金属传输带；金属传输带内设有金属发热片，金属传输带的侧壁设有金属环，金属环与金属发热片为电连接；机架的内底部上设有温控器，温控器与金属环通过连接线连接。本发明通过金属传输带可以对铝箔胶带进行加热处理，从而大大提高了对铝箔胶带进行热处理的效率。CN106591748ACN106591748A权利要求书1/1页1.一种铝箔胶带热处理装置，包括机架（11），其特征在于：机架（11）上设有放卷轮（12），机架（11）的一侧上设有从动轮（20），从动轮（20）通过第四安装轴（21）安装在机架（11）上；放卷轮（12）与从动轮（20）对应；机架（11）的另一侧上设有主动轮（14）与第二辅助轮（17），主动轮（14）与第二辅助轮（17）啮合，主动轮（14）通过第二安装轴（15）安装在机架（11）上，主动轮（14）与第二安装轴（15）之间设有第一辅助轮（16），第二辅助轮（17）通过第三安装轴（18）安装在机架（11）上，第二辅助轮（17）与第三安装轴（18）之间设有收卷轮（19）；机架（11）上设有传动轮（22），传动轮（22）通过第五安装轴（23）安装在机架（11）上，机架（11）上设有侧板（28），侧板（28）呈竖直布置，侧板（28）与机架（11）的内侧壁之间设有第一对接板（29）与第二对接板（30），第一对接板（29）与第二对接板（30）呈水平布置，侧板（28）的端部与机架（11）的内侧壁之间设有载物板（27），载物板（27）上设有驱动电机（25），驱动电机（25）的前部设有驱动轴（26），驱动轴（26）的外周面套装有驱动轮（24），传动轮（22）设置在驱动轮（24）与第一辅助轮（16）之间，驱动轮（24）、传动轮（22）以及第一辅助轮（16）啮合，第一辅助轮（16）与第二辅助轮（17）啮合；从动轮（20）与主动轮（14）之间设有金属传输带（31）；金属传输带（31）内设有金属发热片，金属传输带（31）的侧壁设有金属环（32），金属环（32）与金属发热片为电连接；机架（11）的内底部上设有温控器（33），温控器（33）与金属环（32）通过连接线（36）连接，温控器（33）的端部上设有支撑杆（34），支撑杆（34）的端部设有第一牵引轮（37）与第二牵引轮（39），第一牵引轮（37）通过第六安装轴（38）安装在支撑杆（34）上，第二牵引轮（39）通过第七安装轴（40）安装在支撑杆（34）上；连接线（36）绕过第一牵引轮（37）与第二牵引轮（39）。2.根据权利要求1所述的铝箔胶带热处理装置，其特征在于：机架（11）的内顶部上设有第一吊顶架（41）与第二吊顶架（42），第一吊顶架（41）与第二吊顶架（42）的下部之间设有镜面（43），镜面（43）设置在金属传输带（31）的上方。3.根据权利要求2所述的铝箔胶带热处理装置，其特征在于：镜面（43）的中部设有弯折部（44）。4.根据权利要求1所述的铝箔胶带热处理装置，其特征在于：支撑杆（34）的下端与温控器（33）的端部之间设有固定板（35）。5.根据权利要求1所述的铝箔胶带热处理装置，其特征在于：放卷轮（12）通过第一安装轴（13）安装在机架（11）上。2CN106591748A说明书1/3页一种铝箔胶带热处理装置[0001]技术领域[0002]本发明涉及一种处理装置，具体涉及一种铝箔胶带热处理装置。[0003]背景技术[0004]一种结构简单、可抑制使伴随着基板的热处理而产生的生成气体冷却而产生的所谓升华物的发生的热处理装置。热处理装置包括具有用于向基板处理部供给热风的热风供给部件的空气调整部、以及用于对基板进行热处理的热处理室。热处理装置配置有催化壁，载持有促进在热处理室的最下游一侧、当