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一种大口径自由曲面样品表面轮廓差动测量装置与方法.pdf
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a是****澜吖
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一种大口径自由曲面样品表面轮廓差动测量装置与方法，涉及大口径自由曲面样品表面轮廓测量技术。目的是为了解决现有方法测量速度慢，测量范围小且易损伤样品的问题。本发明首先在待测样品表面镀一层有机荧光膜，激光器发出的激光依次经过准直物镜和光阑后形成平行光，再经过PBS透射、高速数字扫描振镜反射和扫描透镜透射后在样品上形成聚焦光斑，使样品表面发出荧光；荧光经两个PMT收集，对两个PMT产生的信号进行差分运算，得到差动轴向响应曲线，根据该曲线确定样品表面位置，使样品进行三维移动，采用同样的方法得到样品在不同位置的表面
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