滚轮装置及使用该滚轮装置的太阳能电池生产设备.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN106653666A(43)申请公布日2017.05.10(21)申请号201611151195.5(22)申请日2016.12.13(71)申请人常州比太科技有限公司地址213164江苏省常州市武进区高新技术产业开发区凤翔路7号(72)发明人谭兴波朱海剑庄正军(74)专利代理机构北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙)11371代理人史明罡(51)Int.Cl.H01L21/677(2006.01)H01L31/18(2006.01)权利要求书1页说明书6页附图3页(54)发明名称滚轮装置及使用该滚轮装置的太阳能电池生产设备(57)摘要本发明涉及太阳能电池加工装置技术领域，尤其是涉及一种滚轮装置及使用该滚轮装置的太阳能电池生产设备。所述的滚轮装置，包括锁紧组件、转轴和滚轮；锁紧组件具有供转轴穿过的孔，转轴贯穿于孔中，且转轴的端部伸入到滚轮的内部，锁紧组件将滚轮与转轴固定连接在一起；滚轮的内部设置有绝缘层，绝缘层位于滚轮的内表面与转轴的外表面之间；滚轮与锁紧组件之间设置有绝缘隔垫。本发明提供的滚轮装置，能够在有离子轰击、腐蚀、高温的环境中运行，且能够同时保证滚轮与转轴间的锁紧固定，以及转轴与滚轮间的绝缘。本发明提供的太阳能电池生产设备，使用了所述的滚轮装置，能够保证生产顺利进行，并使得产品达到工艺要求。CN106653666ACN106653666A权利要求书1/1页1.一种滚轮装置，其特征在于：包括锁紧组件、转轴和滚轮；所述锁紧组件具有供所述转轴穿过的孔，所述转轴贯穿于所述孔中，且所述转轴的端部伸入到所述滚轮的内部，所述锁紧组件将所述滚轮与所述转轴固定连接在一起；所述滚轮的内部设置有绝缘层，所述绝缘层位于所述滚轮的内表面与所述转轴的外表面之间；所述滚轮与所述锁紧组件之间设置有绝缘隔垫。2.根据权利要求1所述的滚轮装置，其特征在于：所述锁紧组件包括锁紧件、连接螺栓和紧固螺栓；所述锁紧件通过所述连接螺栓与所述滚轮固定连接；所述绝缘隔垫设置在所述锁紧件与所述滚轮之间；所述孔设置在所述锁紧件上，所述紧固螺栓将所述转轴固定在所述孔中。3.根据权利要求2所述的滚轮装置，其特征在于：所述锁紧件设置有沉头孔，所述沉头孔的中心线与所述孔的中心线相平行；所述沉头孔的台阶面上设置有绝缘垫圈，所述沉头孔与所述连接螺栓之间设置有绝缘套；所述连接螺栓穿过所述沉头孔并与所述滚轮螺纹连接。4.根据权利要求2或3所述的滚轮装置，其特征在于：所述锁紧件包括两个半部；两个所述半部均具有弧形槽，两个所述半部的弧形槽的槽口相对设置形成所述孔，所述弧形槽与所述转轴的外表面相配合；两个所述半部均设置有连接孔，所述连接孔的中心线与所述弧形槽的长度方向相垂直；所述紧固螺栓穿过所述连接孔将两个所述半部固定于所述转轴上。5.根据权利要求4所述的滚轮装置，其特征在于：所述连接孔为与所述紧固螺栓相配合的螺纹孔。6.根据权利要求4所述的滚轮装置，其特征在于：所述锁紧组件还包括螺母，所述紧固螺栓穿过所述连接孔并与所述螺母螺纹连接。7.根据权利要求3所述的滚轮装置，其特征在于：所述绝缘垫圈为陶瓷纤维垫片。8.根据权利要求3所述的滚轮装置，其特征在于：所述绝缘套、所述绝缘层和所述绝缘隔垫均由聚四氟乙烯(PTFE)制成。9.根据权利要求1至3中任一项所述的滚轮装置，其特征在于：所述滚轮的外周面上设置有环状凸起。10.一种太阳能电池生产设备，其特征在于：包括驱动装置和如权利要求1至9中任一项所述的滚轮装置，所述驱动装置用于驱动所述转轴转动。2CN106653666A说明书1/6页滚轮装置及使用该滚轮装置的太阳能电池生产设备技术领域[0001]本发明涉及太阳能电池加工装置技术领域，尤其是涉及一种滚轮装置及使用该滚轮装置的太阳能电池生产设备。背景技术[0002]晶硅太阳能电池具有工艺简单、太阳能转化效率较高等优点而被大规模应用，在晶硅电池的生产中，RIE干法制绒和PECVD真空镀膜是两个重要的真空工艺技术。RIE干法制绒是在真空化学气氛下经等离子激发形成低反射率的粗糙表面。而等离子强化的化学气相沉积(PECVD)真空镀膜是用在正表面氮化硅抗反射膜和背表面氧化铝和氮化硅钝化膜的形成。[0003]RIE干法制绒和PECVD真空镀膜技术的通常工艺流程为：将硅片在大气中放置在载板上，载板通过滚轮传输到装载腔中，在装载腔抽真空抽到10Pa左右。然后再传输到工艺腔接受RIE刻蚀或PECVD镀膜。工艺完成后，载板进入卸载腔(放气腔)。因此，利用RIE干法制绒和PECVD真空镀膜技术制备太阳能电池时，硅片载板在传输过程中，输送载板的滚轮需要在有离子轰击、腐蚀、高温的环境中运行，要同时保证滚轮与磁力转轴间的锁紧固定，以及磁力转轴与滚轮间