一种可变光阑机构的限位结构以及可变光阑机构.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN106772882A(43)申请公布日2017.05.31(21)申请号201611133649.6(22)申请日2016.12.10(71)申请人中国科学院长春光学精密机械与物理研究所地址130033吉林省长春市经济技术开发区东南湖大路3888号(72)发明人孙振华洋洋倪明阳杨怀江隋永新(74)专利代理机构深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙)44316代理人赵勍毅(51)Int.Cl.G02B7/00(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图2页(54)发明名称一种可变光阑机构的限位结构以及可变光阑机构(57)摘要本发明公开了一种可变光阑机构的限位结构以及可变光阑机构。所述可变光阑机构包括驱动件和齿轮，其特征在于，所述限位结构包括支架面板，限位器以及密封堵头；所述驱动件设置在所述支架面板上；所述齿轮设置在所述驱动件上，并可被所述驱动件驱动；所述限位器设置在所述支架面板上，且可与所述齿轮配合并限制所述齿轮转动；所述密封堵头可设置在所述支架面板上，且所述密封堵头在所述限位器未安装时，设置在所述限位器的安装位置上。本发明提供的可变光阑机构的限位结构能防止可变光阑机构在运输过程中损坏。CN106772882ACN106772882A权利要求书1/1页1.一种可变光阑机构的限位结构，所述可变光阑机构包括驱动件和齿轮，其特征在于，所述限位结构包括支架面板，限位器以及密封堵头；所述驱动件设置在所述支架面板上；所述齿轮设置在所述驱动件上，并可被所述驱动件驱动；所述限位器设置在所述支架面板上，且可与所述齿轮配合并限制所述齿轮转动；所述密封堵头可设置在所述支架面板上，且所述密封堵头在所述限位器未安装时，设置在所述限位器的安装位置上。2.根据权利要求1所述的可变光阑机构的限位结构，其特征在于，所述驱动件为电机。3.根据权利要求1所述的可变光阑机构的限位结构，其特征在于，所述限位器包括：限位杆和设置在所述限位杆上的限位连接螺纹；所述限位杆在所述限位器安装在所述支架面板上时与所述齿轮配合，限制所述齿轮转动；所述限位连接螺纹与所述支架面板配合，使所述限位杆可固定设置在所述支架面板上。4.根据权利要求3所述的可变光阑机构的限位结构，其特征在于，所述限位器还包括：方形槽，所述方形槽设置在所述限位杆的一端端面上。5.根据权利要求1所述的可变光阑机构的限位结构，其特征在于，所述密封堵头上设置有螺纹。6.根据权利要求5所述的可变光阑机构的限位结构，其特征在于，所述密封堵头的一端的端面上设置有方形槽。7.根据权利要求3所述的可变光阑机构的限位结构，其特征在于，所述支架面板上设置有与所述限位杆连接螺纹配合的限位器螺纹孔。8.根据权利要求3所述的可变光阑机构的限位结构，其特征在于，所述齿轮包括轮齿主体，所述轮齿主体的相邻齿面用于与限位器的限位杆配合。9.根据权利要求1所述的可变光阑机构的限位结构，其特征在于，所述限位器与所述支架面板之间设置有密封胶。10.一种可变光阑机构，其特征在于，包括驱动件和齿轮以及如权利要求1至9任一项所述的限位结构。2CN106772882A说明书1/4页一种可变光阑机构的限位结构以及可变光阑机构技术领域[0001]本发明涉及光学领域，具体涉及一种光刻投影物镜中可变光阑机构的限位结构以及可变光阑机构。背景技术[0002]光刻投影技术是大规模集成电路制造技术和微光学、微机械技术的先导和基础，决定了集成电路的集成度。集成电路芯片的不同深度刻蚀不同的图样，以满足高集成度的需要，要求物镜系统具有可调节数值孔径大小的功能。改变数值孔径大小往往通过可变光阑机构得以实现。可变光阑一般采用电机带动齿轮传递旋转运动，由于光阑机构较大，电机较小，其齿轮传动的减速比往往较大，次级齿轮和光阑机构的质量和转动惯量对于主动齿轮和电机来说是较大的负载，在物镜运输和搬运过程中，光阑机构的惯性运动有可能导致电机受到较大冲击并受迫转动，导致电机损坏；光阑机构的惯性运动也有可能使其内部机构发生损坏、脱落，划伤物镜镜片表面，存在极大的危险，将直接导致投影物镜数值孔径调节精度劣化甚至光阑机构和物镜自身存在极大的破坏危险。发明内容[0003]本发明旨在克服现有技术存在的缺陷，本发明采用以下技术方案：[0004]一方面，本发明提供了一种可变光阑机构的限位结构。所述可变光阑机构包括驱动件和齿轮，所述限位结构包括支架面板，限位器以及密封堵头；所述驱动件设置在所述支架面板上；所述齿轮设置在所述驱动件上，并可被所述驱动件驱动；所述限位器设置在所述支架面板上，且可与所述齿轮配合并限制所述齿轮转动；所述密封堵头可设置在所述支架面板上，且所述密封堵头在所述限位器未安装时，设置在所述限位器的安装位置上。[0005]在一