薄膜涂布装置及薄膜涂布方法.pdf
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相关资料
薄膜涂布装置及薄膜涂布方法.pdf
本发明公开了一种薄膜涂布装置及薄膜涂布方法。该薄膜涂布装置包含一第一滚轮,一涂布模头以及一第二滚轮。该第一滚轮具有一刚性表面。该涂布模头设置于该第一滚轮的一侧,用以施加一涂布材料于该第一滚轮的刚性表面。该第二滚轮具有一弹性表面用以输送一薄膜,且用以抵接于该第一滚轮的刚性表面。其中当该第一滚轮及该第二滚轮转动时,该第一滚轮的刚性表面及该第二滚轮的弹性表面于抵接位置的切线速度的方向相反。本发明薄膜涂布装置可提高涂布材料厚度的均匀性。
涂布装置以及带多层膜的薄膜的制造方法.pdf
本发明提供即使使用低粘度的涂布液也能够良好地制膜的涂布装置以及带多层膜的薄膜的制造方法。一种涂布装置,具备:抽吸装置,用于使模具前端部的空间减压;和容器,用于贮留所述涂布液,所述容器配置在比涂布点靠下的位置上,将下游模唇与所述膜片的最短距离设为d1,将邻接模唇与所述膜片的最短距离设为d2,将所述邻接模唇的所述移动方向的宽度为L2,将最上层的膜厚设为h1,将除去最上层的所有膜的总膜厚设为h2时,以满足式1~式4全部的方式设置所述模块构成所述模具。10μm≤(d1-d2)≤200μm?式1,d2≤3×h2?式
一种钙钛矿薄膜涂布装置.pdf
本申请实施例公开了一种钙钛矿薄膜涂布装置,包括原料瓶和涂布模头,其中,原料瓶用于承装前驱体溶液,涂布模头与原料瓶连通,涂布模头用于在基板上涂布前驱体溶液。本申请公开的钙钛矿薄膜涂布装置还包括设置在涂布模头上的振动件,振动件用于使涂布模头内的前驱体溶液振动,以使前驱体溶液内的溶质分布更加均匀。溶质分布均匀的前驱体溶液涂布在基板上,促使钙钛矿结晶形核更加均匀,从而提高钙钛矿薄膜的结晶度和成膜质量。
涂布装置及涂布方法.pdf
在使涂布用喷嘴(10)在被涂布体(W)的上方与被涂布体相对移动且从涂布用喷嘴的前端部处的狭缝状排出口(12)向被涂布体的表面涂布涂布液(P)的涂布装置中,使设置有呈规定的图案形状的涂布液收容凹部(14a)的涂布液供给体(14)以能在狭缝状排出口的上方旋转的方式设置于对涂布液进行收容的涂布液收容部(11)内,并且,设置沿着狭缝状排出口的长度方向分离成多个排出部(12a)的分隔构件(13),使涂布液供给体(14)旋转,使涂布液经过与涂布液收容凹部对应的位置处的排出部而涂布至被涂布体的表面。
涂布装置及涂布方法.pdf
使涂布用喷嘴(10)在被涂布体(W)的上方与被涂布体相对移动,并从涂布用喷嘴前端部的狭缝状排出口(11)将涂布液(P)涂布于被涂布体的表面时,将收容有涂布液的涂布用喷嘴的涂布液导入部(13)以与狭缝状排出口连通的方式设置,并在该涂布液导入部内的底部,将在外周面设置有规定的图案形状的涂布液收容凹部(14a)的涂布液供给体(14)能旋转地设置在狭缝状排出口的上方,并使该涂布液供给体旋转而从涂布液收容凹部内将涂布液通过狭缝状排出口涂布于相对移动的被涂布体的表面。