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基于热蒸发方法的硫系薄膜制备与光学性能研究

编号：

本科毕业设计（论文）

题目：基于热蒸发方法的硫系薄膜制备与光学性能研究
Researchpreparedbythermalevaporationoftheopticalpropertiesofchalcogenidethinfilms

宁波大学信息学院本科毕业设计（论文）

毕业设计（论文）原创性声明和使用授权说明

原创性声明
本人郑重承诺：所呈交的毕业设计（论文），是我个人在指导教师的指导下进行的研究工作及取得的成果。尽我所知，除文中特别加以标注和致谢的地方外，不包含其他人或组织已经发表或公布过的研究成果，也不包含我为获得及其它教育机构的学位或学历而使用过的材料。对本研究提供过帮助和做出过贡献的个人或集体，均已在文中作了明确的说明并表示了谢意。
作者签名：日期：
指导教师签名：日期：

使用授权说明

本人完全了解大学关于收集、保存、使用毕业设计（论文）的规定，即：按照学校要求提交毕业设计（论文）的印刷本和电子版本；学校有权保存毕业设计（论文）的印刷本和电子版，并提供目录检索与阅览服务；学校可以采用影印、缩印、数字化或其它复制手段保存论文；在不以赢利为目的前提下，学校可以公布论文的部分或全部内容。
作者签名：日期：
学位论文原创性声明
本人郑重声明：所呈交的论文是本人在导师的指导下独立进行研究所取得的研究成果。除了文中特别加以标注引用的内容外，本论文不包含任何其他个人或集体已经发表或撰写的成果作品。对本文的研究做出重要贡献的个人和集体，均已在文中以明确方式标明。本人完全意识到本声明的法律后果由本人承担。

作者签名： 日期：年月日

学位论文版权使用授权书
本学位论文作者完全了解学校有关保留、使用学位论文的规定，同意学校保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和电子版，允许论文被查阅和借阅。本人授权大学可以将本学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索，可以采用影印、缩印或扫描等复制手段保存和汇编本学位论文。
涉密论文按学校规定处理。

作者签名： 日期：年月日
导师签名：日期：年月日
诚信承诺

我谨在此承诺：本人所写的毕业论文《基于热蒸发方法的硫系薄膜制备与光学性能研究》均系本人独立完成，没有抄袭行为，凡涉及其他作者的观点和材料，均作了注释，若有不实，后果由本人承担。

承诺人（签名）：冯江超
年月日

摘要
【摘要】硫系薄膜是硫系玻璃材料光学器件向集成化、小型化发展的一个重要研究方向。本文介绍了硫系薄膜的发展与应用及常见的制备方法，并选择热蒸发方法制备了Ge-Sb-Se组分的硫系薄膜。并对所得薄膜进行结构和性能测试包括：薄膜的透过光谱（分光光度计），薄膜组分（xps），薄膜结构（拉曼光谱）和薄膜厚度（台阶仪）等参数。结果表明热蒸发法制备Ge-Sb-Se薄膜具有良好的物理结构和光学特性，在集成光学器件方面很高的应用潜力。
【关键词】硫系玻璃，硫系薄膜；热蒸发法，光学特性，。

Abstract
【ABSTRACT】Chalcogenidethinfilmsofchalcogenideglassopticaldevicestotheintegration,miniaturizationisanimportantresearchdirection.Thisarticledescribesseveralchalcogenideopticalpropertiesofamorphousfilms,learningthepreparationmethodsofChalcogenideglassandComparetheiradvantagesanddisadvantages,accordingtothelaboratoryexistingconditionspreparationthechalcogenidethinfilmsinthermalevaporationmethod.Throughtheexplorationoffilm-formingconditions,developedapreliminaryprocessparameterstestedbyX-rayphotoelectronspectroscopyofthecompositionobtainedthedifferentbetweenfilmandtargetblock.Measuredbyspectrophotometerthroughthespectrumfromthefilm,Calculatethenonlinearrefr