密封门装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN107238954A(43)申请公布日2017.10.10(21)申请号201710403933.9(22)申请日2017.06.01(71)申请人武汉华星光电技术有限公司地址430079湖北省武汉市东湖开发区高新大道666号生物城C5栋(72)发明人马海买提(74)专利代理机构深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙)44300代理人黄威(51)Int.Cl.G02F1/13(2006.01)G01B21/02(2006.01)权利要求书1页说明书5页附图1页(54)发明名称密封门装置(57)摘要本发明提供一种密封门装置，用于对精密测长机的基板进出口进行密闭，包括：一密封门，贴附于基板进出口所在平面，且可平移至基板进出口；以及驱动机构，包括有驱动电机、齿轮以及连接于密封门两端的驱动螺杆；其中，驱动电机连接齿轮，位于密封门至少一端的驱动螺杆套接于齿轮的中心，通过齿轮驱动驱动螺杆以自身中心线为轴旋转，使得密封门在驱动螺杆上移动；有益效果为：本发明所提供的一体式密封门，贴附于机体表面设置，密闭时具有较佳的密封效果，密封门及驱动机构结构简单，便于拆洗；解决了双开门式密封门的轨道设计会影响腔室密封效果，导致腔室内温度不稳定，进而影响测量精度的技术问题。CN107238954ACN107238954A权利要求书1/1页1.一种密封门装置，用于对精密测长机的基板进出口进行密闭，其特征在于，包括：一密封门，贴附于所述基板进出口所在平面，且可平移至所述基板进出口；以及驱动机构，包括有驱动电机、齿轮以及连接于所述密封门两端的驱动螺杆；其中，所述驱动电机连接所述齿轮，位于所述密封门至少一端的所述驱动螺杆套接于所述齿轮的中心，通过齿轮驱动所述驱动螺杆以自身中心线为轴旋转，使得所述密封门在所述驱动螺杆上移动。2.根据权利要求1所述的密封门装置，其特征在于，所述密封门在所述基板进出口所在平面上垂直移动。3.根据权利要求2所述的密封门装置，其特征在于，所述密封门的一端螺接第一驱动螺杆，所述密封门的相对另一端螺接第二驱动螺杆，所述第一驱动螺杆与所述第二驱动螺杆相互平行，并且，所述第一驱动螺杆与所述第二驱动螺杆均垂直于所述精密测长机底部。4.根据权利要求3所述的密封门装置，其特征在于，所述驱动电机的输出轴连接第一齿轮，所述第一驱动螺杆套接于第二齿轮的中心，所述第一齿轮与所述第二齿轮相啮合。5.根据权利要求4所述的密封门装置，其特征在于，所述第一驱动螺杆与所述第二驱动螺杆之间通过传动机构连接；所述传动机构包括：第一伞形齿轮，套接于所述第一驱动螺杆上；第二伞形齿轮，与所述第一伞形齿轮相啮合，以改变所述第一伞形齿轮的传动方向；第三伞形齿轮，套接于所述第二驱动螺杆上；第四伞形齿轮，与所述第三伞形齿轮相啮合，以驱动所述第三伞形齿轮运转；以及传动连杆，垂直于所述第一驱动螺杆及第二驱动螺杆，所述传动连杆的一端连接所述第二伞形齿轮，所述传动连杆的相对另一端连接所述第四伞形齿轮。6.根据权利要求1所述的密封门装置，其特征在于，所述基板进出口所在平面上，位于所述密封门行程的一端设置有第一挡板，所述第一挡板内侧设置有第一缓冲垫，位于所述密封门行程的另一端设置有第二挡板，所述第二挡板内侧设置有第二缓冲垫。7.根据权利要求1所述的密封门装置，其特征在于，所述基板进出口所在平面上设置有止位传感器，所述密封门上设置有与所述止位传感器相匹配的识别器，所述止位传感器电性连接所述驱动机构。8.根据权利要求1所述的密封门装置，其特征在于，所述密封门的端部设置有连接套筒，所述连接套筒内表面形成有螺纹，所述连接套筒套设于所述驱动螺杆上，且与所述驱动螺杆螺接。9.根据权利要求1所述的密封门装置，其特征在于，所述密封门朝向所述基板进出口的一端形成有斜面，所述斜面朝向所述基板进出口的外部。10.根据权利要求9所述的密封门装置，其特征在于，所述密封门端部的斜面与所述密封门外表面的连接处形成圆弧过渡面。2CN107238954A说明书1/5页密封门装置技术领域[0001]本发明涉及液晶显示面板制造领域，尤其涉及一种液晶显示面板测量设备的密封门。背景技术[0002]伴随液晶显示技术正在向高端精细方向发展，对于LTPS(LowTemperaturePoly-silicon，简称：低温多晶硅)产品而言，黑色矩阵的线宽从10um到现在4～5um，规格要求越来越细，并且曝光遮罩的形状精度和位置精度的要求从4～5um到现在1.5～2um。对检测设备的精度也就要求更高，线宽检测精度在0.05um以内，精密测长机精度要求在0.3um，因此不仅需要对设备进行防震、测量镜头精度校准，而且最重要的是测量基板需放置于密闭恒温恒湿室中，对设备的温度要求在±0.1