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基于ZnO玻璃结构的声表面波器件研究开题报告
一、研究背景及意义
声表面波器件（SurfaceAcousticWave,SAW）是指采用声表面波在固体晶体中传递和散射的原理，实现对电信号进行放大、调制或者滤波的一类微电子器件。SAW器件由于具有微型化、高精度、低功耗等特点，在现代通信、医疗、工业等领域广泛应用。
而针对SAW器件中的压电材料，ZnO材料由于其制备工艺简单、性能优良等优点在压电领域具有广泛应用。基于ZnO压电材料的SAW器件也受到学术界和工业界的广泛关注。目前，已有较多基于ZnO单晶或薄膜的SAW器件研究。然而，单晶或薄膜的制备过程对于SAW器件的制造和实际应用中产生了很大限制，同时也加大了成本。而玻璃及其陶瓷在电子器件中的应用得到广泛关注，因为它们价格便宜、制备工艺简单、材料稳定性强、有良好的可加工性和防水性。因此，基于ZnO玻璃结构的SAW器件的研究和开发具有较高的意义和价值。
二、研究内容和技术路线
本课题旨在研究基于ZnO玻璃结构的SAW器件，并探究其在声波传输、信号增强、滤波等方面的性能。具体研究内容包括以下几个方面：
1.制备基于ZnO玻璃结构的SAW器件，包括对ZnO材料和玻璃基底的制备和优化。
2.研究SAW信号的传输特性和衰减规律，分析其与ZnO玻璃结构的结合程度的关系。
3.研究SAW信号在不同膜厚的ZnO玻璃结构中的传输特性，寻找合适的薄膜厚度。
4.探究ZnO玻璃结构的声波传输和信号增强等性能，并研究其在滤波器件中的应用。
5.了解其他基于ZnO压电材料的SAW器件研究成果，做进一步的比较和分析，验证ZnO玻璃结构的优势和局限性。
技术路线：
1.制备ZnO和玻璃材料，对其性能进行分析和比较。
2.利用激光沉积等方法制备具有不同膜厚的ZnO玻璃结构，并对其进行特性测试和优化。
3.研究SAW信号和ZnO玻璃结构的耦合过程，在电子显微镜等设备上进行观察和分析。
4.进行声波传输性能测试，并研究ZnO玻璃结构在滤波器件中的应用。
5.将结果与同类研究成果进行比较，验证本研究的优势和局限性。
三、预期成果
1.针对基于ZnO玻璃结构的SAW器件的制备、特性分析和应用进行系统的研究，并在此基础上提出有效的优化方案。
2.探究ZnO材料的精细化制备及其在玻璃结构应用中的特性，对该类压电材料的研究也有一定的推动作用。
3.为SAW器件的微型化、稳定性等方面的研究提供了一个全新的思路。
4.文章发表于相关领域的权威期刊。
参考文献：
1.M.A.Khan,R.S.Islam,andM.Sultana,“ZnOThinFilmBasedSurfaceAcousticWaveResonatorsforWirelessCommunication,”Sensors(Basel),Vol.11,No.9,pp.8416–8437,Sep.2011.
2.Y.LiandX.Xiang,“NumericalStudyofAcousticFieldandTwo-PortSAWPropertiesin36°Y-CutLiNbO3Substrates,”InternationalJournalofAcousticsandVibration,Vol.22,No.4,pp.418–423,2017.
3.W.Guo,W.Han,W.Du,andX.Xu,“CharacterizationandOptimizationofZnOBasedSAWResonatorsonSiO2/SiSubstrates,”Sensors(Basel),Vol.16,No.10,pp.1709,Oct.2016.