氢化微晶硅薄膜材料及其在硅基薄膜太阳电池中的应用研究的开题报告.docx
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PECVD法制备氢化纳米晶硅薄膜及其晶化特性的研究氢化纳米晶硅(hydrogenatednanocrystallinesilicon,nc-Si:H)薄膜是硅的纳米晶粒镶嵌在氢化非晶硅(hydrogenatedamorphoussilicon,a-Si:H)网络里的一种硅纳米结构材料。它具有高电导率、宽带隙、高吸收系数、光致发光等光电特性,已经引起了学术界的广泛关注和研究。一方面,nc-Si:H薄膜材料具有量子限制效应,因此可以通过控制薄膜中的晶粒尺寸等来调节薄膜的带隙,以应用于对不同波段的光的吸收。另一