Mn掺杂ZnO外延薄膜的局域结构及稀磁特性研究的中期报告.docx
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Mn掺杂ZnO外延薄膜的局域结构及稀磁特性研究的中期报告本研究旨在研究Mn掺杂ZnO外延薄膜的局域结构及稀磁特性。在前期实验研究的基础上,本次中期报告主要介绍了在样品制备、结构表征和磁学测量方面所取得的进展和结果。一、样品制备我们采用化学气相沉积法(CVD)制备了Mn掺杂ZnO外延薄膜。具体过程为:在Sapphire衬底上先生长一个约100nm的ZnO薄膜;然后在ZnO薄膜中掺杂Mn;最后再在掺杂层上生长约200nm的ZnO薄膜。我们对样品的制备过程进行了优化,以获得尽量高的掺杂浓度和纯度。二、结构表征我
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