激光干涉位移测量技术.doc
天马****23
在线预览结束,喜欢就下载吧,查找使用更方便
相关资料
激光干涉位移测量技术.doc
可编辑word文档可编辑word文档可编辑word文档激光干涉位移测量技术张欣(2015110034)摘要:为了实现纳米级以上分辨力位移的测量研究,利用激光干涉位移测量技术可以达到纳米级分辨力,其具有可溯源、分辨力高、测量速度快等特点,是目前位移测量领域的主流技术。本文对目前主要的激光干涉位移测量技术进行了分类介绍,并对各种干涉仪的特点进行了分析,最后介绍了激光干涉位移测量技术的国内外发展现状和趋势。关键词:纳米级;激光干涉;位移测量;1引言干涉测量技术(interferometry)是基于电磁波干涉理论
精密位移量的激光干涉测量方法及实验.doc
激光实验学生姓名:陈延新学号:111050104班级:应用物理1101实验项目名称:激光实验一、实验目的:了解激光干涉测量的原理掌握微米及亚微米量级位移量的激光干涉测量方法了解激光干涉测量方法的优点和应用场合二、实验原理本实验采用泰曼-格林(Twyman-Green)干涉系统,T-G干涉系统是著名的迈克尔逊白光干涉仪的简化。用激光为光源,可获得清晰、明亮的干涉条纹,其原理如图1所示。激光通过扩束准直系统L1提供入射的平面波(平行光束)。设光轴方向为Z轴,则此平面波可用下式表示:(1)式中A平面波的振幅
一种利用激光干涉测量位移的装置.pdf
本发明公开了一种利用激光干涉测量位移的装置,包括外壳,所述外壳内壁左部卡装有支撑架,所述支撑架上部卡装有单频激光发射器,所述支撑架下端卡装有光波接收分析仪,所述外壳内壁下表面右中部胶结有下镜座,所述外壳内壁右端设有滤镜架,所述滤镜架下部卡装有回光滤镜,所述滤镜架上部卡装有射光滤镜,所述外壳上内壁又部胶结有上镜座,所述上镜座与下镜座之间卡装有分光镜;通过转壳的转动,使得直角圆锥镜能够进行微量的位移,进而进行参考光线的微量调整,同时通过射光滤光镜和回光滤光镜对射出的激光与返回的激光进行杂波虑除,增加干涉效果,
激光自混合干涉位移测量系统的设计的开题报告.docx
激光自混合干涉位移测量系统的设计的开题报告一、选题背景及意义随着现代科技的进步和应用,人们对生活和生命安全的要求越来越高,对工业和制造业的高要求也加强了精度和可靠性的要求。在工业制造和机械设备领域中,位移测量技术是一项非常重要的技术,可以用于检测系统运动的变化,动态测量对象的运动状态。现有的位移测量技术有许多种,如激光干涉仪位移测量、电容传感器位移测量、磁敏传感器位移测量等,但这些技术还有一些问题需要解决,例如测量精度和稳定性等。激光自混合干涉位移测量技术是一种新兴的位移测量技术,它不仅可以实现高精度的测
激光自混合干涉位移测量系统的设计的综述报告.docx
激光自混合干涉位移测量系统的设计的综述报告激光自混合干涉位移测量系统是一种高精度、非接触式的位移测量技术。该技术主要依靠激光自相干性及干涉现象,对被测物体的表面形态特征和运动进行动态、静态实时测量和分析。本文将主要对激光自混合干涉位移测量系统的设计、原理、应用以及未来发展进行综述。一、激光自混合干涉位移测量系统的设计激光自混合干涉位移测量系统是一种非常复杂的系统,其设计主要包括激光器、干涉仪、检测器、信号处理器和机械结构等方面。其中,激光器从基础上决定了整个系统的输出功率和波长;干涉仪则是实现干涉测量的核