划线方法以及划线装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN107650277A(43)申请公布日2018.02.02(21)申请号201710164741.7(22)申请日2017.03.17(30)优先权数据2016-1452742016.07.25JP(71)申请人三星钻石工业股份有限公司地址日本大阪(72)发明人栗山规由林和夫杉山元康小川纯一李日会(74)专利代理机构北京康信知识产权代理有限责任公司11240代理人田喜庆吴孟秋(51)Int.Cl.B28D1/22(2006.01)B28D1/24(2006.01)B28D7/00(2006.01)权利要求书2页说明书6页附图6页(54)发明名称划线方法以及划线装置(57)摘要本发明提供一种划线方法以及划线装置，其能够将刀轮相对于相机的偏移值设定为保持架的最佳位置来进行划线。在进行划线作业之前，在保持刀轮(4)的保持架(11)的左右的支承板(11a、11b)的间隔内，使刀轮(4)移动至一端侧的最大移动地点，并存储该位置处的一端偏移值(ΔY1)，接着，使刀轮(4)移动至另一端侧的最大移动地点，并存储该位置处的另一端偏移值(ΔY2)，将左右的最大移动地点处的偏移值的中心值作为相机(5)与刀轮(4)的行走线的中心偏移值(ΔY)而存储，基于该中心偏移值(ΔY)，使刀轮(4)下降到脆性材料基板(W)而进行划线。CN107650277ACN107650277A权利要求书1/2页1.一种划线方法，通过用相机识别脆性材料基板上附带的对准标记，从而基于预先存储的划线开始位置信息、以及相机位置与刀轮的刀尖中心的偏移值，使所述刀轮下降到所述脆性材料基板的划线开始位置而进行划线，由此加工出划线，在所述划线方法中，于用所述刀轮进行划线作业之前，在保持所述刀轮的保持架的左右支承板的间隔内，使所述刀轮移动至一端侧的最大移动地点，并存储该位置处的一端偏移值，接着，使所述刀轮移动至另一端侧的最大移动地点，并存储该位置处的另一端偏移值，将左右的所述最大移动地点处的偏移值的中心值作为所述相机与所述刀轮的行走线的中心偏移值进行存储，基于所述中心偏移值，使所述刀轮下降到所述脆性材料基板而进行划线。2.根据权利要求1所述的划线方法，其中，使用能够沿与所述刀轮的行走方向正交的一方向移动的工作台、以及贴附在所述工作台上的检验片作为使所述刀轮移动的移动单元，用能够使所述刀轮的刀尖陷入并产生摩擦阻力的材料形成所述检验片，在所述刀轮下降、且所述刀轮的刀尖陷入所述检验片的状态下，使所述工作台沿所述一方向移动，由此使所述刀轮在所述保持架的间隔内移动至左右两端的所述最大移动地点。3.根据权利要求1所述的划线方法，其中，使用能够沿与所述刀轮的行走方向正交的一方向移动、且能够以纵轴为支点旋转的工作台作为使所述刀轮移动的移动单元，将脆性材料基板载置于所述工作台，并在所述脆性材料基板的表面用所述刀轮对相同部位多次划线，加工出沿着刀轮行走方向的V槽，使所述工作台旋转而使所述V槽在俯视时倾斜，使所述刀轮的刀尖对准并落入倾斜的所述V槽上，并使所述刀轮沿着所述V槽行走，从而使所述刀轮向所述保持架的间隔内的一端部移动，在所述脆性材料基板的表面用所述刀轮对相同部位多次划线而加工出沿着刀轮行走方向的新的V槽之后，使所述工作台向与前次相反的方向旋转，并使所述刀轮沿着所述新的V槽行走，由此使所述刀轮向所述保持架的间隔内的相反侧的一端部移动。4.一种划线装置，通过用相机识别脆性材料基板上附带的对准标记，从而基于预先存储的划线开始位置信息、以及相机位置与刀轮的刀尖中心的偏移值，使所述刀轮下降到所述脆性材料基板的划线开始位置而进行划线，由此加工出划线，所述划线装置包括：移动单元，在保持所述刀轮的保持架的左右支承板的间隔内，使所述刀轮移动至左右两端的最大移动地点，所述划线装置存储所述左右两端的最大移动地点各自的位置处的一端偏移值以及另一端偏移值并算出所述一端偏移值与所述另一端偏移值的中心值，将所述中心值作为中心偏移值而新进行存储，并基于所述中心偏移值，使所述刀轮下降到所述脆性材料基板而进行划线。5.根据权利要求4所述的划线装置，其中，能够沿与所述刀轮的行走方向正交的一方向移动的工作台、以及贴附在该工作台上的检验片被用作使所述刀轮移动的所述移动单元，2CN107650277A权利要求书2/2页所述检验片用能够使所述刀轮的刀尖陷入并产生摩擦阻力的材料而形成，所述划线装置在使所述刀轮下降并且所述刀轮的刀尖陷入所述检验片的状态下，使所述工作台沿所述一方向移动，由此使所述刀轮在所述保持架的间隔内移动至所述左右两端的最大移动地点。3CN107650277A说明书1/6页划线方法以及划线装置技术领域[0001]本发明涉及以玻璃、半导体等脆性材料基板(以下，简