压电振动元件、压电振子、压电振荡器以及电子设备.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN107681991A(43)申请公布日2018.02.09(21)申请号201710646628.2H03H3/04(2006.01)(22)申请日2012.03.13(30)优先权数据2011-0604572011.03.18JP(62)分案原申请数据201210065906.22012.03.13(71)申请人精工爱普生株式会社地址日本东京(72)发明人伊井稔博内藤松太郎(74)专利代理机构北京金信知识产权代理有限公司11225代理人苏萌萌许梅钰(51)Int.Cl.H03H9/19(2006.01)H03H3/02(2006.01)权利要求书2页说明书18页附图13页(54)发明名称压电振动元件、压电振子、压电振荡器以及电子设备(57)摘要本发明获得一种压电振动元件、压电振子、压电振荡器以及电子设备，该压电振动元件不与弯曲振动等轮廓振动模式结合、且为CI较小的台面结构。压电振动元件(100)具备：压电基板(10)；分别被相对配置在两主面上的各个激励电极(20)；引出电极(22)；衬垫(24)。压电基板(10)具有：位于中央的激励部(14)；被设置在所述激励部的边缘上的薄壁的周边部(12)，其中，激励部(14)的、相对置的两个侧面各自为无阶梯状的平面，激励部(14)的、相对置的另外两个侧面各自在厚度方向上具有阶梯部。各个衬垫(24)在与压电基板(10)的各个角部相对应的位置上具有将压电基板(10)固定在支承部件上的支承区域(26)，激励电极(20)跨越激励部(14)、和周边部(12)的至少一部分的振动区域而形成。CN107681991ACN107681991A权利要求书1/2页1.一种压电振动元件，其特征在于，包括：压电基板，其具备激励部以及周边部，所述周边部在俯视观察时包围所述激励部，且与所述激励部相比厚度较小；激励电极，其分别被相对配置在所述压电基板的表里的主面上，所述激励部包括：第一部分，其为在所述激励部中厚度最大的部位；第二部分，其被配置于在俯视观察时夹着所述第一部分而对置的两侧，且与所述第一部分相比厚度较小，在俯视观察时夹着所述第一部分而对置的所述两侧，在所述第一部分的主面与所述周边部的主面之间具有由所述第二部分构成的阶梯部，在俯视观察时夹着所述第一部分而对置的另外两侧，在所述第一部分的主面与所述周边部的主面之间具有无阶梯状的面，所述激励电极被配置为，从所述第一部分起跨越所述第二部分直至所述周边部。2.如权利要求1所述的压电振动元件，其特征在于，所述无阶梯状的面与所述第二部分连结。3.如权利要求1所述的压电振动元件，其特征在于，所述无阶梯状的面露出有水晶结晶的R面或者m面。4.如权利要求1所述的压电振动元件，其特征在于，所述压电基板为如下的水晶基板，即，以水晶的结晶轴、即作为电轴的X轴、作为机械轴的Y轴、作为光学轴的Z轴构成的直角坐标系中的所述X轴为旋转轴，将使所述Z轴向所述Y轴的-Y方向以+Z侧进行旋转的方式而倾斜了的轴设为Z′轴，将使所述Y轴向所述Z轴的+Z方向以+Y侧进行旋转的方式而倾斜了的轴设为Y′轴，将包含所述X轴及所述Z′轴的面设为主面，且将沿着所述Y′轴的方向设为厚度，所述水晶基板包括沿着所述X轴的一对边、以及沿着所述Z′的一对边，所述阶梯部沿着所述Z′轴而延伸。5.如权利要求4所述的压电振动元件，其特征在于，所述无阶梯状的面沿着所述X轴而延伸。6.如权利要求4或5所述的压电振动元件，其特征在于，包括衬垫，所述衬垫被设置在所述压电基板的所述表里的主面中的至少任意一个的角部上，所述衬垫在将所述压电基板固定在支承部件上的位置处具有支承区域，当将所述压电基板的、沿着所述X轴的长度设为X，将所述第一部分的沿着所述Y′轴的厚度设为t，将所述支承区域的端部中的位于所述激励电极侧的端部、与所述激励电极的端部中的位于所述衬垫侧的端部之间的沿着所述X轴的长度距离设为ΔX时，满足如下关系，即，14≤X/t≤18，且0.04mm≤ΔX≤0.06mm。7.如权利要求4或5所述的压电振动元件，其特征在于，当将所述压电基板的、沿着所述Z′轴的长度设为Z，将所述激励部的沿着所述Z′轴长度设为Mz，将所述第一部分的沿着所述Y′轴的厚度设为t时，满足如下关系，即，2CN107681991A权利要求书2/2页8≤Z/t≤11，且0.6≤Mz/Z≤0.8。8.一种压电振子，其特征在于，具备：权利要求1至5中的任一项所述的压电振动元件；封装件，其收纳所述压电振动元件。9.一种压电振荡器，其特征在于，具备：权利要求1至5中的任一项所述的压电振动元件；振荡电路，其对该压电振动元件进行驱动。10.如权利要求9所述的压电振荡器，其特征在于，所述振荡电路被搭载在集成电路上