ZnO薄膜的异质生长及其光学特性研究的任务书.docx
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PLD法制备ZnO薄膜及其特性研究的任务书.docx
PLD法制备ZnO薄膜及其特性研究的任务书任务书任务名称:PLD法制备ZnO薄膜及其特性研究任务背景:氧化锌(ZnO)作为一种重要的半导体材料,在各种领域均有广泛应用。它具有高光电转换效率、优异的光电性能和良好的化学稳定性等优点,因此被广泛用于太阳能电池、荧光显示及发光二极管等领域。而PLD法是一种简单易操作、具有高质量薄膜、可控性好等优点的薄膜制备方法,因此本次研究将采用PLD法制备ZnO薄膜。任务内容:1.研究PLD法制备ZnO薄膜的制备工艺,包括探索不同的气相压力、激光功率和衬底温度对薄膜质量的影响