一种玻璃基板清洗装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN107824512A(43)申请公布日2018.03.23(21)申请号201711005826.7(22)申请日2017.10.25(71)申请人武汉华星光电技术有限公司地址430000湖北省武汉市武汉东湖开发区高新大道666号生物城C5栋(72)发明人施杰(74)专利代理机构深圳汇智容达专利商标事务所(普通合伙)44238代理人潘中毅熊贤卿(51)Int.Cl.B08B3/02(2006.01)B08B13/00(2006.01)B08B11/04(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图2页(54)发明名称一种玻璃基板清洗装置(57)摘要本发明提供了一种玻璃基板清洗装置，包括至少一腔室，每一腔室内均设有传送机构及喷淋机构；每一腔室内还设有至少一位于传送机构上方的滚轮洁净机构，且每一滚轮洁净机构均包括喷洗管、驱动喷洗管旋转的驱动器、充有高速流动清洗液的高压管道以及将喷洗管和高压管道连接的密封套管接头；喷洗管的一端形成为密封端并安装有驱动器，另一端与密封套管接头的一端形成密封连接并形成绕喷洗管中心轴线旋转配合，且喷洗管在两端之间的外壁上开设有多个用于喷射清洗液的通孔；密封套管接头的另一端与高压管道形成密封连接。实施本发明，可以克服现有的玻璃基板清洗装置长期使用后存在的不足之处，并实现玻璃基板及本身自动清洗，省时省力，还能保证清洗效果。CN107824512ACN107824512A权利要求书1/1页1.一种玻璃基板清洗装置，包括至少一腔室（1），且每一腔室（1）内均设有用于传送玻璃基板的传送机构以及设置于所述传送机构上方并用于清洗所述玻璃基板的喷淋机构；其特征在于，所述每一腔室（1）内还设有至少一位于所述传送机构上方的滚轮洁净机构（2），且每一滚轮洁净机构（2）均包括喷洗管（21）、驱动所述喷洗管（21）旋转的驱动器（22）、内部充满有高速流动的清洗液的高压管道（23）以及将所述喷洗管（21）和所述高压管道（23）连接在一起的密封套管接头（24）；其中，所述喷洗管（21）的一端形成为密封端并安装有所述驱动器（22），另一端与所述密封套管接头（25）的一端形成密封连接并形成绕所述喷洗管（21）中心轴线旋转配合，且所述喷洗管（21）在两端之间的外壁上开设有多个用于喷射所述高速流动清洗液的通孔（25）；所述密封套管接头（24）的另一端与所述高压管道（23）形成密封连接。2.如权利要求1所述的玻璃基板清洗装置，其特征在于，所述喷洗管（21）的另一端伸入所述密封套管接头（25）内形成密封连接，并与所述密封套管接头（25）的一端形成绕所述喷洗管（21）中心轴线旋转配合。3.如权利要求2所述的玻璃基板清洗装置，其特征在于，所述每一滚轮洁净机构（2）上均设有变速器（26），所述变速器（26）设置于所述喷洗管（21）和所述驱动器（22）之间。4.如权利要求3所述的玻璃基板清洗装置，其特征在于，所述每一滚轮洁净机构（2）内的驱动器（22）均驱动其对应喷洗管（21）成360度旋转。5.如权利要求4所述的玻璃基板清洗装置，其特征在于，所述每一滚轮洁净机构（2）内的密封套管接头（24）与其对应喷洗管（21）及高压管道（23）之间均设有密封垫，且所述每一滚轮洁净机构（2）中喷洗管（21）及高压管道（23）在二者相对端的连接处均设有位于其对应密封套管接头（24）内的密封圈。6.如权利要求5所述的玻璃基板清洗装置，其特征在于，所述每一通孔（25）上均设有一喷嘴（27），且每一喷嘴（27）自与其对应通孔（25）相连的一端起沿远离所述喷洗管（21）的方向，其开口直径逐渐减小。7.如权利要求6所述的玻璃基板清洗装置，其特征在于，所述每一腔室（1）内均设有两个滚轮洁净机构（2），所述两个滚轮洁净机构（2）分别靠近其对应腔室（1）的内壁成相对设置。8.如权利要求7所述的玻璃基板清洗装置，其特征在于，所述高压管道（23）内高速流动的清洗液为水。9.如权利要求8所述的玻璃基板清洗装置，其特征在于，所述驱动器（22）为伺服马达。10.如权利要求9所述的玻璃基板清洗装置，其特征在于，所述传动机构包括传动轴（31）、滚轮（32）和驱动齿轮（33）；其中；所述传动轴（31）有多个，且每一传动轴（31）上均设有多个所述滚轮（32）以及一转动配合的驱动齿轮（33）；每一驱动齿轮（33）还与外部的主马达相连并由所述主马达驱动转动。2CN107824512A说明书1/4页一种玻璃基板清洗装置技术领域[0001]本发明涉及半导体清洗技术领域，尤其涉及一种玻璃基板清洗装置。背景技术[0002]玻璃基板清洗装置常用于玻璃基板表面涂布前的清洗，去除玻璃基板上的微尘颗粒、异物和有机物等脏污，其主要由滚轮、喷淋机构等