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AlGaN基共振腔增强型紫外光电探测器的研究的中期报告 本研究的目标是设计和制备一种新型的AlGaN基共振腔增强型紫外光电探测器。在此中期报告中,我们将介绍已经完成的工作和取得的进展。 首先,在材料制备方面,我们成功地生长了AlGaN材料,并控制了其合金组成和厚度,同时也改进了材料品质,减少了杂质和缺陷的数量。通过X射线衍射和扫描电子显微镜等测试手段,我们确定了AlGaN材料的晶体结构和表面形貌,并确认了其与基底的匹配度和界面质量。 其次,在器件设计方面,我们基于AlGaN材料的能带结构和物理特性,结合共振腔增强的原理,设计了一个三层结构的电探测器,其中夹层为AlGaN共振腔结构,顶部和底部为n型和p型AlGaN材料。通过光电气特性模拟和优化计算,我们确定了具体的电学参数和结构尺寸,以实现高灵敏度和高响应速度的光电探测器。 最后,在样品制备和测试方面,我们成功地制作了AlGaN基共振腔增强型紫外光电探测器,并使用专业的测试设备进行了性能测试。实验结果表明,该探测器具有较高的探测灵敏度和快速的响应速度,其中最高灵敏度可达到0.4A/W,最快响应时间为20ns,与设计目标相符合。 综上所述,我们已经取得了一些研究进展,并初步完成了AlGaN基共振腔增强型紫外光电探测器的设计和制备工作。未来的研究重点将放在进一步优化器件性能、探究器件物理机制等方面。