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硅基锗材料的异质外延及高效发光器件研制的开题报告 【开题报告】 一、选题背景 高效红光发光二极管是实现彩色LED光源的关键组成部分之一。在目前红色发光材料中,硅基锗材料因其高截止温度、高电学导率等独特优点,已经成为研究的热点之一。其中,异质外延技术是制备硅基锗材料的重要手段之一。异质外延技术具有高度可控性、低损伤断层、提高材料质量等优点,被广泛应用于光电器件制备中。 二、研究目的 本研究旨在通过异质外延技术制备高质量的硅基锗材料,同时实现其在高效发光器件中的应用。具体研究目的如下: 1.制备高质量的硅基锗材料。 2.研制基于硅基锗材料的高亮度、高效率的红色LED器件。 3.分析器件中的发光机制及优化器件性能。 三、研究内容 1.硅基锗材料的制备与表征 采用化学气相外延法(HVPE)生长GaAsP基板,通过金属有机气相外延法(MOVPE)在GaAsP基板上外延生长硅基锗材料。利用XRD、图像(POM)等技术对样品进行结构和显微结构表征。 2.高亮度、高效率红色LED的器件研制 采用异质外延技术制备高质量的材料作为发光层,在p-GaP和n-GaAsP中添加合适的镁等掺杂元素来形成正负电极。通过光学性质测试,探究器件发光机理,并针对实验结果进行优化。 3.优化器件性能 通过制备不同形式的器件(如异质结、双异质结等),针对不同实验结果进行制备优化。通过调节材料生长参数、实验条件等因素,探究不同材料制备工艺对器件性能的影响。同时,优化器件结构、波长和发光强度等性能,实现器件性能的最佳化。 四、研究意义 本研究通过制备高品质的硅基锗材料,构建基于断带调制结构的高亮度、高效率红色LED器件,并通过实验结果进行优化,有以下研究意义: 1.扩展新的材料体系,弥补传统发光材料在红色波段上的缺陷。 2.探究锗材料异质外延制备硅基锗材料的关键指标,如生长温度、气氛种类、氧化层处理等,为异质外延技术提供参考。 3.实现硅基红色LED的高亮度、高效率发光,有突破性的应用价值,具有广阔的发展前景。 四、研究进度安排 1.第一年:制备生长高质量的硅基锗材料。 2.第二年:制备高亮度、高效率红色LED器件。 3.第三年:优化器件结构,探究不同材料制备工艺对器件性能的影响。 五、预期成果 通过本研究,预期的成果如下: 1.制备高质量的硅基锗材料,探究其异质外延技术制备重要指标。 2.制备高亮度、高效率红色LED器件,并探究器件发光机理,实现优化器件性能。 3.发表在国内外相关重要学术刊物上的论文,提交专利申请。 六、研究条件和经费 该研究所需的主要设备及场地资源为实验室、电子束光刻机、蒸发仪、气相外延机、PL测试仪等。研究经费总计为50万元。 七、参考文献 1.SunJ,LinJ,LiX,etal.ThestatusandprospectsofGe-basedoptoelectronics[J].MaterialsScienceinSemiconductorProcessing,2017,60:29-49. 2.LinMC,LeeCH,WuCY,etal.High-efficiencyredlight-emittingdiodes:challengesandsolutions[J].Optica,2017,4(7):864-885. 3.LiuG,LiY,YuX,etal.Ge-basedmaterialsanddevicesforoptoelectronicsandphotonicsapplications[J].ProgressinMaterialsScience,2019,103:1-49.