光学薄膜弱吸收快速检测技术及装置的中期报告.docx
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光学薄膜弱吸收快速检测技术及装置的中期报告.docx
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光学薄膜弱吸收快速检测技术及装置的任务书.docx
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光学薄膜在线监控技术的中期报告.docx
光学薄膜在线监控技术的中期报告光学薄膜在线监控技术的中期报告一、研究背景和意义光学薄膜是指将金属、半导体、绝缘体等材料制成一层薄膜,并能够控制其厚度和折射率,以得到所需的光学性质。光学薄膜广泛应用于光学器件、太阳能电池板、显示器、光通信等领域。传统的光学薄膜制备工艺中,通常采用离线制备,即每生产一次产品,就必须停机清洗、更换薄膜材料和调整设备参数等过程,造成很大的浪费和成本增加。而光学薄膜在线监控技术的出现,可以实时监测薄膜厚度和折射率等参数,通过调节设备参数来快速调整薄膜性质,达到快速生产和有效控制成本