真空镀膜样品台.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN108642455A(43)申请公布日2018.10.12(21)申请号201810471369.9(22)申请日2018.05.17(71)申请人宁波大红鹰学院地址315175浙江省宁波市鄞州区高桥镇芦港村学院路1号宁波大红鹰学院机电学院(72)发明人常秋香胡方勤赵浩杰(74)专利代理机构宁波奥凯专利事务所(普通合伙)33227代理人姜瑞祥(51)Int.Cl.C23C14/32(2006.01)C23C14/50(2006.01)权利要求书2页说明书4页附图3页(54)发明名称真空镀膜样品台(57)摘要本发明涉及一种真空镀膜样品台，是针对解决现有同类产品中同一样品各面镀膜均匀及不同位置样品镀膜均匀的技术问题而设计。其要点是该真空镀膜样品台的动力系统包括动力输入轴、联轴装置、动密封装置，以及电机，动力输入轴、电机的主轴通过联轴装置与动密封装置的中心轴连接，并固定于真空腔体的外侧；行星轮系统包括太阳轮组件、行星轮组件，以及行星架，行星轮组件包括行星轮轴、压盖、轴导向套、轴承、轴承挡环、行星齿轮，以及齿轮限位挡块；太阳轮组件固定于真空腔体的内侧，行星轮组件的轴导向套通过压盖固定于行星架，且行星轮组件的行星齿轮与太阳轮组件的第二太阳轮啮合；样品台固定于行星轮轴的顶端，真空腔体的外侧设有弧源靶材。CN108642455ACN108642455A权利要求书1/2页1.一种真空镀膜样品台，该真空镀膜样品台包括动力系统、行星轮系统，以及样品台；其特征在于所述动力系统包括动力输入轴（5）、联轴装置、动密封装置（3），以及电机（1），动力输入轴（5）、电机（1）的主轴通过联轴装置与动密封装置（3）的中心轴连接，组成整个装置的动力系统，动密封装置（3）和电机（1）均固定于真空腔体（12）的外侧；所述行星轮系统包括太阳轮组件、行星轮组件（10），以及行星架（9），行星轮组件（10）包括行星轮轴（14）、压盖（15）、轴导向套（16）、轴承、轴承挡环、行星齿轮（21），以及齿轮限位挡块（22）；太阳轮组件固定于真空腔体（12）的内侧，行星轮组件（10）的行星轮轴导向套（16）通过压盖（15）固定于圆形的行星架（9），且行星轮组件（10）的行星齿轮（21）与太阳轮组件的第二太阳轮（8）啮合；所述样品台（11）固定于行星轮轴（14）的顶端，真空腔体（12）的外侧设有弧源靶材（13），真空腔体（12）呈圆形。2.根据权利要求1所述的真空镀膜样品台，其特征在于所述联轴装置包括第二联轴器（4）和第一联轴器（2），动力输入轴（5）、电机（1）的主轴分别通过第一联轴器（2）、第二联轴器（4）与动密封装置（3）的中心轴连接。3.根据权利要求1所述的真空镀膜样品台，其特征在于所述太阳轮组件包括太阳轮固定架（6）、第一太阳轮（7）、第二太阳轮（8），行星轮组件（10）包括顶部行星轮组件（1001）和侧面行星轮组件（1002）；太阳轮组件固定于行星架（9）内，第一太阳轮（7）的边沿设有轮盘斜齿，第一太阳轮（7）的边沿外径设有六个均匀分布的侧面行星轮组件（1002），第二太阳轮（8）的轮盘顶部设有四个均匀分布的顶部行星轮组件（1001），顶部行星轮组件（1001）和侧面行星轮组件（1002）通过轴导向套（16）、压盖（15）固定于行星架（9），顶部行星轮组件（1001）的行星轮轴（14）通过齿轮限位挡块（22）、螺钉固定于直齿轮，直齿轮与太阳轮组件的第二太阳轮（8）啮合，侧面行星轮组件（1002）的行星轮轴（14）通过齿轮限位挡块（22）、螺钉固定于斜齿轮，斜齿轮与第一太阳轮（7）的轮盘斜齿啮合，太阳轮固定架（6）、第一太阳轮（7）、第二太阳轮（8）通过动力输入轴（5）与行星架（9）连为一体，太阳轮固定架（6）通过铆钉固定于真空腔体（12）内，真空腔体（12）的外侧周面对称设有与侧面行星轮组件（1002）对应的弧源靶材（13），真空腔体（12）的顶部对称设有与顶部行星轮组件（1001）对应的弧源靶材（13）。4.根据权利要求3所述的真空镀膜样品台，其特征在于所述行星轮组件（10）的轴导向套（16）内设有第一轴承（17）、轴承内挡环（18）、轴承外挡环（19）、第二轴承（20），轴导向套上下开口，即轴导向套（16）内的行星轮轴（14）外径依次设有轴承内挡环（18）和轴承外挡环（19），轴承内挡环（18）和轴承外挡环（19）的两端分别设有第一轴承（17）和第二轴承（20），行星轮轴（14）的一端伸出轴导向套（16）与样品台（11）连接，行星轮轴（14）的另一端伸出轴导向套（16）通过齿轮限位挡块（22）、螺钉与行星齿轮（21）的直齿轮连接，或行星轮轴（14）的另一端伸出轴导向套（16）通过齿轮限位挡