表面轮廓扫描方法及其装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN108662985A(43)申请公布日2018.10.16(21)申请号201710204110.3(22)申请日2017.03.30(71)申请人均豪精密工业股份有限公司地址中国台湾新竹县(72)发明人周智川陈建国杨沛哲(74)专利代理机构北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司11139代理人孙皓晨(51)Int.Cl.G01B11/24(2006.01)G01B9/02(2006.01)权利要求书2页说明书5页附图7页(54)发明名称表面轮廓扫描方法及其装置(57)摘要本发明公开了一种表面轮廓扫描方法及其装置，该方法包含以下步骤：设定扫描区域，将一测试件设定为至少一扫描区与至少一移动区；执行扫描，一设于一扫描单元的一干涉物镜于该扫描区移动，以使该扫描单元于该扫描区对该测试件进行扫描，并得出一扫描信息，对该扫描信息进行运算，以形成一对应该扫描区的扫描轮廓值；一耦接于该扫描单元的移动模块控制该扫描单元于该移动区移动一预定距离，该扫描单元未进行扫描时，设定对应该移动区的一预定轮廓值；以及得出表面轮廓，该预定轮廓值与该扫描轮廓值进行组合，以得出该测试件的表面轮廓。CN108662985ACN108662985A权利要求书1/2页1.一种表面轮廓扫描方法，其特征在于，包含以下步骤：设定扫描区域，将一测试件设定为至少一扫描区与至少一移动区；执行扫描，一设于一扫描单元的一干涉物镜于该扫描区移动，以使该扫描单元于该扫描区对该测试件进行扫描，并得出一扫描信息，对该扫描信息进行运算以形成一对应该扫描区的扫描轮廓值；一耦接于该扫描单元的移动模块控制该扫描单元于该移动区移动一预定距离，该扫描单元未进行扫描时，设定对应该移动区的一预定轮廓值；以及得出表面轮廓，该预定轮廓值与该扫描轮廓值进行组合，以得出该测试件的表面轮廓。2.如权利要求1所述的表面轮廓扫描方法，其特征在于，其进一步包含一扫描测试件的步骤：一耦接该干涉物镜的压电微致动器带动该干涉物镜，以使该干涉物镜相对于该测试件呈一轴向移动，于该干涉物镜移动时，该扫描单元扫描该测试件，以得到该测试件的表面轮廓；于该设定扫描区域的步骤中，依据该表面轮廓以一第一比例区分，从而得出该扫描区，再将该表面轮廓以一第二比例区分，从而得出该移动区，藉此于该设定扫描区域的步骤中设定该扫描区与该移动区。3.如权利要求1所述的表面轮廓扫描方法，其特征在于，于该设定扫描区域的步骤中，是将该测试件的表面轮廓以一第一比例区分而得出该扫描区，再将该表面轮廓以一第二比例区分而得出该移动区。4.如权利要求2或3所述的表面轮廓扫描方法，其特征在于，于该设定扫描区域的步骤中，该测试件具有多个测试位置，于每一测试位置分别设定该扫描区与该移动区。5.如权利要求4所述的表面轮廓扫描方法，其特征在于，于该设定扫描区域的步骤中，该表面轮廓以一第三比例区分而得出至少另一扫描区，该第三比例大于、等于或小于该第一比例；于该执行扫描的步骤中，该干涉物镜于该另一扫描区移动，该扫描单元对该另一扫描区进行扫描而得出另一扫描信息，该另一扫描信息形成对应该另一扫描区的另一扫描轮廓值；于该得出轮廓值的步骤中，该预定轮廓值与该扫描轮廓值以及该另一扫描轮廓值进行组合，以得出该表面轮廓。6.如权利要求1所述的表面轮廓扫描方法，其特征在于，于执行扫描的步骤中，该扫描单元先扫描该扫描区，该扫描单元后于该移动区移动；或者该扫描单元先于该移动区移动，该扫描单元后扫描该扫描区。7.如权利要求2所述的表面轮廓扫描方法，其特征在于，于该扫描测试件的步骤中，该测试件区分为多个测试位置，该扫描单元扫描单一测试位置或多个测试位置。8.如权利要求1所述的表面轮廓扫描方法，其特征在于，于该设定扫描区域的步骤中，该扫描区与该移动区相邻，或者该扫描区与该移动区重迭。9.一种表面轮廓扫描装置，其特征在于，其包含：一移动模块；一扫描单元，其与该移动模块耦接，该扫描单元具有一视觉模块与一干涉物镜；以及一整合单元，其与该扫描单元连接；其中，该移动模块控制该扫描单元相对于一测试件呈一轴向移动；该干涉物镜相对于该测试件呈一轴向移动；该测试件设定为至少一扫描区与至少一移动区；该扫描单元提供2CN108662985A权利要求书2/2页一测试光束，该测试光束通过该干涉物镜，以投影至该扫描区，并形成一反射光束，该反射光束通过该干涉物镜后导向该视觉模块并被该视觉模块接收，从而形成一扫描信息，该整合单元运算该扫描信息，以形成一对应该扫描区的扫描轮廓值；该移动模块控制该扫描单元于该移动区移动一预定距离，该扫描单元未进行扫描时，设定对应该移动区的一预定轮廓值；该整合单元与该扫描轮廓值以及该预定轮廓值组合，以得出该测试件的表面轮廓。10.如权利要求9所述