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高重复率ArF准分子激光器的关键技术研究的开题报告
一、选题背景及意义
随着微电子工业的发展，对准分子激光器的使用要求越来越高。在微影领域中，准分子激光器的重复频率和位置稳定性非常重要。高重复率ArF准分子激光器可以实现高效率的微影，但是它的稳定性和寿命仍然是目前制约其在工业中大规模应用的瓶颈。因此，研究高重复率ArF准分子激光器的关键技术，提高其稳定性和寿命，对微影领域的发展具有重要的意义。
二、研究内容及方法
针对目前高重复率ArF准分子激光器存在的问题，本课题拟对以下关键技术进行研究：
1.调谐系统的设计：对于ArF准分子激光器而言，调谐系统的稳定性和重复精度极为关键。因此，本课题将设计一种高精度的调谐系统，并且通过仿真分析和实验测试进行优化。
2.光学反射镜的性能研究：光学反射镜对激光器的重复精度和稳定性有着非常重要的影响。本课题将研究光学反射镜的反射率、传输损耗和稳定性等性能指标，并通过实验和理论建模对其进行分析和优化。
3.激光腔的优化：激光腔的稳定性和寿命是影响激光器性能的重要因素。本课题将通过仿真和实验测试对激光腔的结构进行优化，并对各个参数进行分析和调整，以提高激光器的重复精度和稳定性。
三、预期成果
完成本课题的研究后，预期可以取得以下成果：
1.设计一种高精度的调谐系统，提高ArF准分子激光器的重复精度和稳定性。
2.通过研究光学反射镜的性能指标，提高ArF准分子激光器的稳定性和寿命。
3.通过优化激光腔的结构，提高ArF准分子激光器的重复精度和稳定性。
四、研究计划与进度安排
1.第一年：
1）完成论文开题报告和详细研究计划的制定;
2）设计调谐系统，并进行仿真分析。
2.第二年：
1）进行实验测试，并对调谐系统进行优化;
2）研究光学反射镜的性能指标，对其进行分析和优化。
3.第三年：
1）对激光腔的结构进行优化，并对各个参数进行调整;
2）进行实验测试，对激光器的重复精度和稳定性进行评估。
五、参考文献
1.GuoqingChen,ZhongwenChen,andBaojianLiu,“Stimulated-Brillouin-ScatteringSuppressioninHigh-SpeedLaserMachiningUsingDynamicPulseShaping,”AppliedOptics,vol.51,pp.3233-3238,2012.
2.A.Fujisaki,U.Okudaira,andY.Terada,“Developmentoflaserthermalcontrolsystemforadvancedlithographysystems,”Proc.SPIE9625,2015.
3.C.Lan,Y.Kao,andY.Lin,“High-energyTHzpulsegenerationbyopticalrectificationfromlithiumniobatecrystal,”OpticsExpress,vol.17,pp.11434-11443,2009.
4.S.-B.Choi,S.-H.Yang,Y.-Y.Lee,C.-H.Lee,A.Shokrani,andC.Y.Park,“Developmentof1-kWpicosecondlaserformaterialprocessing,”Proc.SPIE10513,pp.175-184,2013.